Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9308469 zu verkaufen
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ID: 9308469
Weinlese: 1995
Asher
Spare parts and µ-wave RF-generator included
Control screen (Shows ribbons) and robot PCB non-functional
1995 vintage.
GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist ein Hochgeschwindigkeitsätzer und Ascher, der für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Dieses Gerät nutzt fortschrittliche Technologien wie atmosphärische Druck chemische Dampfabscheidung (APCVD) und sequentielle Platte rotary etching (SPRE), um Wafer mit hohen Geschwindigkeiten zu verarbeiten. GASONICS L 3510 verfügt über eine breite Palette von Möglichkeiten, einschließlich der Abscheidung von Oxid-, Nitrid- und Polysiliziumbeschichtungen auf Siliziumscheiben, des Ätzens komplexer Muster und Strukturen und des Entfernens unerwünschten Materials von der Waferoberfläche. NOVELLUS L 3510 bietet Hochgeschwindigkeitsleistung und zuverlässigen Betrieb. Das System hat eine Arbeitsgeschwindigkeit von bis zu 50 Wafern pro Stunde und kann bis zu sechs separate Kammern steuern. Sie kann auch Scheiben verschiedener Durchmesser (8 „bis 12“) handhaben. Die Maschine verfügt über automatische Reinigungs- und Prozessflüssigkeitsmanagementfunktionen, die eine saubere Arbeitsumgebung und konsistente Ergebnisse gewährleisten. Das Gerät ist mit einer robusten Roboterarm- und Bewegungssteuerungsmaschine ausgestattet, die eine schnelle und genaue Kalibrierung des Ätz- und Ascheprozesses ermöglicht. L 3510 verwendet eine breite Palette fortschrittlicher Werkzeuge und Technologien, wie ultraviolette und Elektronenstrahl-Lithographie, sequenzierte Gaseinführung und Plasmaquellentechnologie. Das Tool ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie automatischem Softwareschutz ausgestattet, um eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Darüber hinaus können Anwender Prozessparameter und Produktion in Echtzeit überwachen und eine optimale Steuerung des Prozesses ermöglichen. GASONICS/NOVELLUS L 3510 bietet mehrere Vorteile für Halbleiterhersteller. Seine erweiterten Prozesskontrollfunktionen und die Hochgeschwindigkeitsleistung ermöglichen verbesserte Zykluszeiten und -erträge, was zu erhöhter Produktivität und besseren Erträgen führt. Darüber hinaus ist GASONICS L 3510 mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die eine sichere Arbeitsumgebung gewährleisten. Darüber hinaus hat der Vermögenswert niedrige Betriebskosten und ist auf hohe Zuverlässigkeit ausgelegt. Abschließend ist NOVELLUS L 3510 ein hochmoderner Ätzer und Ascher, ideal für die Halbleiterindustrie. Das Hochgeschwindigkeits-und zuverlässige Modell bietet eine breite Palette von Fähigkeiten und Funktionen und ist in der Lage, bis zu sechs Kammern zu steuern. L 3510 ist sehr zuverlässig, kostengünstig und bietet verbesserte Zykluszeiten und Erträge, was es zu einer guten Wahl für Halbleiterhersteller macht.
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