Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9373158 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist eine Plasmaätzanlage, die zur Herstellung feiner Strukturen auf Substraten zur Herstellung integrierter Schaltungen und anderer elektronischer Komponenten verwendet wird. Es basiert auf der Methode der Verwendung reaktiver Gase zur Bildung eines Plasmas zum Ätzen oder reaktiven Ionenätzen (RIE). Dieses Verfahren wird verwendet, um Strukturen auf der Oberfläche von Substraten einschließlich Metall, Silizium, Quarz und Keramik zu schaffen. Die Hauptmerkmale von GASONICS L 3510 sind seine Fähigkeit, sehr feine und präzise Merkmale aufgrund seiner Flexibilität bei der Steuerung der Parameter der Ätzung, einschließlich der Ätzrate, Ätztiefe und Merkmalsgröße zu ätzen. Dies ermöglicht das Ätzen mit hoher Genauigkeit und Präzision. NOVELLUS L 3510 hat weniger als 1 mm Ätztiefengenauigkeit, 50 mm × 50 mm (2 „× 2“) Feldgröße und eine Ätzrate von 1-10 nms. Darüber hinaus verfügt das System über einen stufenabstimmenden Kraftstoffoptimierer, der die Zeit und Kosten des Ätzens reduziert. L 3510 hat auch erhöhte Sicherheitsmerkmale, die es für eine Reihe von industriellen Anwendungen geeignet machen, einschließlich Hochleistungsmaterialien wie Siliciumcarbid und diamantartige Beschichtungen. Dazu gehören eine ofengeschlossene HF-Kammer, eine freiliegende Innenwand zur einfachen Reinigung und ein HEPA-Filter, der gefährliche Partikel einfängt. Das Gerät ist aufgrund seiner Edelstahlkonstruktion und der Möglichkeit, fernbedient zu werden, ideal für eine industrielle Umgebung. GASONICS/NOVELLUS L 3510 hat hinsichtlich seiner Betriebsparameter eine Substrattemperaturfähigkeit von bis zu 700 ° C und einen Druckbereich von 1,1-10,0 mbar. Die Maschine unterstützt auch eine Vielzahl von Prozessgasen, darunter Chlor, Fluor, Argon, Stickstoff oder Kombinationen davon. Sie weist ferner einen Gasregelsockel auf, der einen einfachen Zugang zum Gasverteilwerkzeug ermöglicht und eine präzise Gasregelung ermöglicht. Schließlich ist GASONICS L 3510 mit einer intuitiven Touchscreen-Oberfläche ausgestattet, mit der Benutzer die Ätzprozesse überwachen und steuern können. Zum Asset gehört auch ein Datenlogger, der detaillierte Ätzberichte und Prozessdatensätze bereitstellt. Insgesamt ist NOVELLUS L 3510 ein effizienter, präziser und benutzerfreundlicher Ätzer, der sich für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen eignet.