Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9387796 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist ein modernes Werkzeug zum Trockenätzen/Aschen. Diese Einheit ist zum präzisen Ätzen und Aschen von Halbleitersubstraten unter Verwendung einer Kombination von Plasmaätz- und Ätzgasen ausgelegt. Dieses Gerät ist in der Lage, sehr feine Merkmale und Details auf einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, III-V-Verbindungen oder einem anderen Halbleitermaterial zu produzieren. Die erweiterten Ätz- und Aschefunktionen von GASONICS L 3510 helfen dabei, sehr scharfe und gut definierte Merkmale auf den Substratoberflächen zu schaffen. Das System ist mit einer Reihe von leistungsstarken Funktionen ausgestattet, die zur Maximierung der Ätzgenauigkeit und -leistung beitragen. Die wichtigsten Argumente von NOVELLUS L 3510 sind die Gasfördereinheit, die eine genaue Kontrolle über die Ätzumgebung ermöglicht, den Druck, die Temperatur und die Zusammensetzung der Gase während des Ätzens anpasst, dabei hilft, Kontaminationen zu minimieren und die Gleichmäßigkeit aufrechtzuerhalten. Zusätzlich können die beim Ätzen und Aschen verwendeten Gase je nach Art des zu verarbeitenden Substrats verändert werden, wobei die Ätzparameter auf ein bestimmtes Material abgestimmt werden. L 3510 hat auch eine fortschrittliche Plasmaquelle, die dazu beiträgt, Verunreinigungen von der Substratoberfläche zu entfernen und eine perfekt glatte und ebene Oberfläche vor dem Ätzen und Aschen zu gewährleisten. Der Ätz- und Aschevorgang wird unter Vakuumumgebung durchgeführt, wobei optional eine Niederdruck-Stickstoffkammer (LPN) verwendet werden kann, um schädliche Rückstände oder Verunreinigungen aus der Ätzkammer zu spülen. GASONICS/NOVELLUS L 3510 kann auch verwendet werden, um fortschrittliche thermische Behandlungen wie Rapid Thermal Processing (RTP) durchzuführen, wenn für Substrat Oberflächenveredelung oder Entfernung von Verunreinigungen erforderlich. Das Paket ist hochautomatisiert und ermöglicht den schnellen und effizienten Aufbau und Betrieb von GASONICS L 3510. Es unterstützt auch eine Vielzahl von Rezepten, die programmiert werden können, um eine erhöhte Kontrolle über den Ätz- und Ascheprozess zu ermöglichen. Die Maschine ist einfach zu bedienen und ihre Produktionseigenschaften machen sie zu einem kostengünstigen Werkzeug für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen. NOVELLUS L 3510 wird auch von einem weltweiten Netzwerk von qualifizierten Anwendungsexperten unterstützt, die eine optimale Ätz- und Ascheleistung gewährleisten.