Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9392635 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die Plasma-, chemische und physikalische Ätzprozesse in einem einzigen integrierten Werkzeug kombiniert. Dieses fortschrittliche System eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, von fortgeschrittenen Verbindungen bis hin zu Verbundhalbleiterbauelementen. Der Ätzer/Ascher verfügt über eine integrierte Roboterscheiben-Handhabungseinheit mit vier unabhängigen Kammern mit jeweils eigener Gas- und Prozesssteuerung. Die Maschine bietet auch ein optionales mehrstufiges Verfahren, mit dem der Benutzer bis zu acht Rezepte in jeder Kammer definieren kann. Diese Funktion ermöglicht es dem Ätzer/Ascher, mehrere Substrate in einem Zyklus zu verarbeiten, was den Durchsatz und die Flexibilität des Benutzers erhöht. GASONICS L 3510 nutzt sowohl thermische als auch chemische Ätztechnologien. Die thermische Ätzung erfolgt mit einem reaktiven Ionenätzer/Plasmaätzer, der Plasmabedingungen bis zu 100 Watt erzeugen kann. Das Werkzeug verfügt auch über einen einstellbaren Backprozess zur Optimierung der Substratoberflächenvorbereitung. Der Plasmaätzer wird durch ein chemisches Ätzwerkzeug ergänzt, das eine Vielzahl von chemischen Spezies verwendet, um Material zu entfernen. Das Asset wurde entwickelt, um eine hochauflösende Kontrolle kritischer Abmessungen mit einer Bildgebungsgenauigkeit von bis zu weniger als 0,5 µm zu ermöglichen. Dies geschieht durch Kopplung eines Abbildungsmodells mit einer Abscheidungseinheit auf Galliumarsenid/Nitrid/Arsenid-Basis. Zusätzlich kann das Gerät Substrate bis 250 mm Durchmesser (8 "Wafer) handhaben und hat einen inneren Vakuumflansch mit Prozessdrücken von 1 mtorr bis 100 mtorr. NOVELLUS L 3510 ist ein vielseitiges und kompaktes System, das sich perfekt für die Herstellung von Feingeometrie μ VLSI-Schaltungen, Photonen- und Mikrowellengeräten, Leiterbahnen und optischen Komponenten eignet. Diese Kombinationsätzer/Ascher-Einheit bietet präzise Oberflächenbearbeitung und Ätzen und Aschen verschiedener Substrate mit hohem Durchsatz und großer Wiederholbarkeit. Seine überlegene Zuverlässigkeit und Leistung machen L 3510 zu einem idealen Werkzeug für fortgeschrittene Ätz- und Ascheanwendungen.