Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9396061 zu verkaufen

Die GatanGASONICS/NOVELLUS L 3510 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine für die Halbleiterherstellung. Unter Verwendung der Thomson-Streuung und einer Hochenergiequelle ist GASONICS L 3510 in der Lage, Photolack und andere Materialien präzise zu ätzen und zu aschen. Das System besteht aus einer Ionenquellensäule, einer ionenoptischen Säule, einer elektrostatischen Linse, einem Ionenenergievervielfacher und einem Ionenenergiesensor. Zusätzlich werden eine Reihe von Kammeroptiken und Prozesstechnologien durch einen dedizierten C ontrol P Rozessor gesteuert. Die fortschrittliche Analyseeinheit auf NOVELLUS L 3510 verfügt über eine Hochlauffläche-Analysefähigkeit, die eine empfindliche Materialentfernung und -passivierung ermöglicht, die eine erweiterte optische Materialintegrität unterstützt. Eines der bemerkenswertesten Merkmale von L 3510 ist die einstellbare Gasinjektionsmaschine, die die Auswahl von zwei Ebenen der energetischen Partikel-Optima-Ätzung und -Asche ermöglicht, wodurch eine ultrafeine Abstimmung der Ergebnisse wirksam ermöglicht wird. GASONICS/NOVELLUS L 3510 akzeptiert mehrere Wafertypen, wie Siliziumscheiben, Wafer auf Arsenbasis und Quarzscheiben, zum Ätzen und Passivieren. Die auf GASONICS L 3510 enthaltene Analyse-Suite ermöglicht es Benutzern auch, die gesamte Ionenleistung, die Gleichmäßigkeit der Ionenenergie, die Gleichmäßigkeit der Ionenstrahlposition, den Kammerdruck und andere Prozessvariablen in Echtzeit zu überwachen und zu messen. Mit dem optionalen Mehrkammerwerkzeug ConsuL Turbo EC lassen sich mehrere NOVELLUS L 3510 Ätzer-/Aschersysteme verknüpfen, die eine automatisierte Behandlung und Analyse mehrerer Wafer ermöglichen. L 3510 verfügt zudem über hervorragende Datenverarbeitungsfunktionen und Kommunikationsschnittstellensysteme. Die Datenanalyse, z. B. Tiefenprofil, ist mit der integrierten grafischen Benutzeroberfläche (GUI) aktiviert. Insgesamt ist der GatanGASONICS/NOVELLUS L 3510 ein leistungsorientierter, zuverlässiger und kostengünstiger Ätzer und Ascher für die moderne Halbleiterherstellung.