Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9400257 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist ein Ätzer/Ascher, mit dem Schichten von einem Siliziumwafer auf ein Dünnschichtsubstrat übertragen werden können. Diese Vorrichtung ist für die hochpräzise Fenster- und Oberflächenprofilbildung konzipiert und ist mit einer Vielzahl von Ätz- und Abscheidungschemien kompatibel. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für die mikro- und nanoskalige Verarbeitung und kann in Prozessen wie Photovoltaik-Zellfertigung, Chemie-/Gassensing und MEMS/NEMS-Technologien eingesetzt werden. GASONICS L 3510 ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die es zu einer wünschenswerten Option zum Ätzen und Aschen machen. Es verfügt über eine erweiterte optische Fensterbaugruppe mit integrierter Fokussteuerung, ein modulares Design, das leicht konfiguriert werden kann, um den Anwendungsanforderungen gerecht zu werden, eine Dual-Beam-Säulenarchitektur und eine robuste hochdichte Stromversorgungsausrüstung. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von Umweltkontrollparametern, einschließlich fortschrittlicher Gasspül- und Vakuumsysteme, Temperaturgeokorrelation und Kühlmittelbehandlung für einen sicheren und zuverlässigen Betrieb. Darüber hinaus ist das Gerät mit einem direkten Schreibsystem ausgestattet, das eine Präzision von bis zu 50nm erreichen kann und extrem präzise Ergebnisse ermöglicht. In puncto Leistung ist NOVELLUS L 3510 auf höchste Genauigkeit und Flexibilität ausgelegt. Es ist in der Lage, bei einem Vakuumniveau von bis zu 10e-6 Torr mit einer Abscheiderate von bis zu 200 A/min und einer Ätzrate von bis zu 20 mA/cm2 zu arbeiten. Es verfügt über ein DC-Netzteil, das mit bis zu 600V und bis zu 5kW betrieben werden kann. Des Weiteren ist das Gerät mit einer Reihe von Diagnosewerkzeugen ausgestattet, darunter ein empfindlicher Strahlstrommesser, ein Sichtwächter und ein Gassensor. L 3510 ist einfach zu warten und zu warten. Das Gerät ist mit einer Reihe von Überwachungsparametern und einstellbaren Betriebsartsteuerungen ausgestattet, die eine einfache Diagnose und Fehlerbehebung ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich einer Selbstdiagnosemaschine für eine verbesserte Leistung. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von kompatiblen Verbrauchsmaterialien kompatibel und ermöglicht einen einfachen Austausch und Reinraumbedienung. Abschließend ist GASONICS/NOVELLUS L 3510 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für hochpräzise Fenster- und Oberflächenprofilbildungsprozesse entwickelt wurde. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die es zu einer ausgezeichneten Wahl für mikro- und nanoskalige Anwendungen machen und gleichzeitig einen zuverlässigen und sicheren Betrieb bieten. In Bezug auf die Leistung ist das Gerät in der Lage, hohe Genauigkeit und bietet eine Reihe von einstellbaren Parametern. Und mit seiner einfachen Wartung und Wartungsfreundlichkeit ist GASONICS L 3510 eine ideale Wahl für Ätz- und Ascheprozesse.