Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9411534 zu verkaufen
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ID: 9411534
Weinlese: 2000
Asher
Photoresist strip
Substrate size: 3"-8"
Footprint: 30"
Main frame:
Aluminum chamber
Quartz chamber
Wafer cooling station with PCW
Platen and lamp heating (Flexibility)
Reliable endpoint detection
Z-Bot station (Robot)
Load cassettes elevator
DC Power supply: -5, +5, -12, +12 VDC
(2) DC Power supplies: +5, -15, +15, +24 VDC
I/O Board
Distribution board
Display board
Graphics control board
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Microwave generator: 2.45 GHz, 1250 W
Interlock wafer transport
Microwave power supply
Gas flow controller
Visual alarm indicator lamp
Quartz gas distribution shower heads
Radiant heating plate
UV Lamp
End point detection
Plasma system controller
Tolerance limit alarm (pressure, flow, lamps)
Gas handling module and control features
(3) Gas lines with purge:
O2 MFC
(2) N2 MFC
Stainless steel valves gas line
Solenoid control: 24 VDC
Soft pump to limit chamber turbulence
AC Power box
Circuit breaker: 30 Amp
Remote option connector
EMO Control to master system
Circuit breaker
Magnetron
Schematic display driver
Process kits
Panel included
Manuals included
Power supply: 200-240 VAC, 50/60 Hz, Single phase, 30 A
2000 vintage.
GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine, die für maximalen Durchsatz und vollständige Prozesskontrolle in Produktionsumgebungen entwickelt wurde. Das System ist eine selbstintegrierte Plattform mit High-End-Lasersteuerung und Softwarelösungen zur Identifizierung, Messung und Änderung von Ätz- und Ascheparametern nach spezifischen Bedürfnissen. Die innovativen Eigenschaften und Leistungen von GASONICS L 3510 Etcher/Asher sind unübertroffen. Die laserbasierte Technologie sorgt für höchste Genauigkeit und Präzision bei der Herstellung selbst kompliziertester Geräte. Darüber hinaus ist die Einheit mit verschiedenen Substratmaterialien und verschiedenen Technologien kompatibel, von Dünnschichtformulierungen über fortgeschrittene dielektrische Schichten bis hin zum Ätzen und Aschen von optischen Materialien wie Saphir und Siliziumoxid. NOVELLUS L 3510 ist auf einer robusten, industrietauglichen Plattform aufgebaut und eignet sich somit für anspruchsvolle Produktionszyklen. Sein großes 15-Zoll-Deck ermöglicht schnelle Trennungen und modulare Add-ons, so dass sich die Maschine schnell weiterentwickeln kann, um den sich ändernden Produktionsanforderungen gerecht zu werden. Das Werkzeug kommt auch mit monolithischen linearen Resonanzaktuatoren ausgestattet, die Drift über große Chargen von Substraten minimieren, gewährleisten gleichmäßig verteilte Ergebnisse und konsistente Ätzparameter beibehalten. Die Softwareplattform des Asset selbst soll jeden Aspekt des Ätzens erleichtern. Die Benutzeroberfläche ermöglicht eine vollständige Kontrolle des gesamten Prozesses, einschließlich der schrittweisen Reaktion des Lasers und der gleichzeitigen Steuerung mehrerer Resonatoren. Darüber hinaus ermöglicht die Software eine individuelle Prozessüberwachung, Konfigurationssteuerung und externes Feedback für schnelle und präzise Prozessanpassungen. Insgesamt ist L 3510 Etcher/Asher ein erstklassiges Modell, das zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse in einer Vielzahl von Produktionsprozessen garantiert. Die hochpräzise Lasersteuerung, die integrierte Hardwareplattform und die umfassende Software-Suite sorgen für höchste Genauigkeit und Kontrolle bei anspruchsvollen Ätz- und Aschevorgängen.
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