Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3010 #9230241 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 3010 ist ein Ätzer/Ascher, der von GASONICS Systems für das Präzisionsätzen von Substraten zur Herstellung von Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Die Maschine verfügt über ein Zweistrahl-Bildgebungsgerät, das einen CO2-Laser mit einem Elektronenstrahl-Lithographiesystem kombiniert. Diese Kombination ermöglicht die Abbildung von kreisförmigen, quadratischen und rechteckigen Substraten mit größerer Auflösung und Präzision als konkurrierende Ätzer. GASONICS PEP 3010 verarbeitet eine Vielzahl von Substraten, darunter Galliumarsenid (GaAs), Silizium, Indiumphosphid (INP), Germanium und andere Verbindungshalbleitermaterialien. Der Ätzer ist für die Verarbeitung von Substraten mit einer flachen Oberflächengeometrie und einer Dicke von 0,1 mm bis 0,25 mm (1/10 bis ein Viertel Millimeter) ausgelegt. Es verarbeitet auch eine breite Palette von Ätzraten, reproduzierbar über eine Reihe von Tiefen, und bietet Platz für die gesamte Palette von Maskengrößen und Substraten in der Halbleiterindustrie. Der Ätzer enthält zwei Sätze spezialisierter Komponenten. Der erste Satz beherbergt die Abbildungseinheit, die aus einem Laser- und E-Strahl-Lithographiewerkzeug besteht. Das Lasermodul verfügt über einen Spiegel, Strahlexpander und Galvanometerspiegel, die zur Fokussierung des Laserstrahls dienen und die gewünschte Fläche des Substrats genau anvisieren. Der zweite Satz enthält die Gasströmungskomponenten, die eine Gasplenumkammer, einen Satz Magnetventile und einen leitungsgesteuerten Brausekopf umfassen. Diese Komponenten dienen zur präzisen Regelung des Ätzgasstroms, um die gewünschte Ätzrate, -tiefe und -profil zu erhalten. NOVELLUS PEP 3010 kann mit Rezepten für verschiedene Ätzaufgaben durch ein Human-Machine Interface (HMI) vorprogrammiert werden. Die Rezepte ermöglichen es dem Benutzer, kundenspezifische Ätzparameter wie Gasflussrate, Gasdruck und Temperatur, Spannung und Pulsdauer zu programmieren. Die Maschine verfügt auch über eine Reihe von Alarmen und eine Auto-Recovery-Maschine, die den Benutzer auf alle Probleme warnen, die während des Ätzvorgangs auftreten können. PEP 3010 arbeitet mit mehreren peripheren Komponenten zusammen, wie dem Strahlätzer und dem automatisierten Substratlader/Entlader. Der Strahlätzer erhöht die Genauigkeit des Ätzprozesses weiter, indem ein Reaktivgasstrahl in Kombination mit Inertgas verwendet wird, um Ätzungen mit hoher Geschwindigkeit und hoher Auflösung zu lenken. Der automatisierte Substratlader/Entlader transportiert Substrate zwischen Ätzer und Strahlätzer, was die Effizienz und den Durchsatz des Ätzprozesses erhöht. GASONICS/NOVELLUS PEP 3010 ist ein ideales Werkzeug für die Herstellung von Halbleitermaterial. Seine relativ geringe Größe, hohe Geschwindigkeit und Auflösung und fortschrittliche Rezepte ermöglichen maximale Effizienz und Präzision des Ätzens. Darüber hinaus ist die Maschine für den Einsatz in einer Vielzahl von industriellen Umgebungen konzipiert, wodurch sie ein äußerst vielseitiges, aber leistungsstarkes Ätzwerkzeug ist.