Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824576 zu verkaufen
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GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschemaschine, mit der Geräte auf verschiedenen Substraten mikrofabriziert werden. Es ist in der Lage, Substrate mit chemischer Dampfabscheidung (CVD) und plasmaverstärkter chemischer Dampfabscheidung (PECVD) für die Mikrofertigung von Geräten zu strukturieren, zu ätzen, zu planarisieren und zu beschichten. Das System verfügt über vier unabhängige Reaktionskammern, so dass mehrere Prozesse auf einem einzigen Substrat abgeschlossen werden können. GASONICS Aura 2000 verfügt über zwei separate Gasversorgungssysteme, eines für CVD und eines für PECVD. Das Gerät verfügt über einen Ultraschallbefeuchter zur Steuerung der Feuchtigkeit der Reaktionskammer, wodurch eine gleichmäßige verdampfte Gasumgebung gewährleistet ist. Die beheizte Kammer ist außerdem mit einer Hochleistungs-Plasmaquelle ausgestattet, die das Ätzen und Planarisieren von Merkmalen ermöglicht. Darüber hinaus kann mit einem Multisite-Coater großflächig Folien konform auf strukturierten Oberflächen abgeschieden werden. Der Controller für NOVELLUS Aura 2000 verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberflächensoftware, mit der der Benutzer seine Prozessabläufe einrichten und überwachen kann. Dieser Controller kann mit anderen Rechnern in der Maschine verbunden werden, was eine Fernbedienung und -überwachung ermöglicht. Die Remote-Schnittstelle ermöglicht auch die Diagnose und Aktualisierung von Remote-Tools. Aura 2000 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der verwendet wird, um verschiedene Muster-, Ätz- und Beschichtungsprozesse durchzuführen. Die vier unabhängigen Reaktionskammern, Dual-Gas-Fördersysteme und integrierte Steuerung machen es zu einem leistungsstarken Werkzeug für die Mikrofertigung von Geräten. Das Asset ist auch mit anderen Systemen im Modell kompatibel, was eine Fernbedienung und -überwachung ermöglicht.
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