Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824582 zu verkaufen
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GASONICS/NOVELLUS PEP 3010A ist eine Ätz- und Aschereinrichtung, die einen sequenzierten Satz von physikalischen und chemischen Prozessen verwendet, um die Herstellung komplexer Formen auf Leiterplatten und Halbleiterbauelementen zu erreichen. Es ist mit einem hochauflösenden Plasmastrahl aus einem Stickstoff-Sauerstoff-Gemisch ausgestattet, der auf den Zielbereich fokussiert ist und eine hochpräzise Abbildung des gewünschten Musters ermöglicht. Dieses System ist in der Lage, wiederholbare und wiederholbare Prozesse mit Präzision bis zu 0,02 μ m zu erreichen, bis zu dreimal höher als der Industriestandard. GASONICS PEP- 3010A können für eine Vielzahl von Submikron-Prozessen wie Schrittlithographie, Trockenätzen, Sputterabscheidung und fokussiertes Ion und plasmaImplantierter Ionenstrahl konfiguriert werden. Darüber hinaus ist NOVELLUS PEP 3010A in der Lage, sowohl Oberflächenätzen als auch die Abscheidung von leitfähigen Metallschichten durchzuführen, um komplexe integrierte Schaltungsstrukturen aufzubauen. Es ist mit einer multidirektionalen Strahlablenkstation ausgestattet, die den Plasmastrahl lenkt und eine plasmagetriebene Lithographie bei 0,02 Mikrometern ermöglicht. PEP 3010A verfügt über eine integrierte Plasmaversorgungseinheit, die die notwendige Gasversorgung bei dem erforderlichen Druck und Durchfluss für eine effiziente Verarbeitung gewährleistet. Es ist auch mit einem Regelkreis ausgestattet, der die Optimierung von Gasdurchflussraten und Gaszusammensetzung ständig überwacht und einstellt. Es ist auch mit einem Mikro-Aspirationssystem ausgelegt, das eine präzise Steuerung der Ätz- und Sputterraten und die exakte Zeitsteuerung der Metallabscheidungsschicht ermöglicht. Die Maschine ist auch mit einem automatisierten Endpunktmeßwerkzeug ausgelegt, das eine präzise Steuerung der geforderten Ätzrate und der Schichtdicke ermöglicht. Diese Anlage überwacht kontinuierlich den Ätzprozess und signalisiert, wenn das gewünschte Profil und die Schichtdicke erreicht sind. Darüber hinaus verfügt GASONICS/NOVELLUS PEP 3010A über ein fortschrittliches Diagnosemodell mit schneller anzeigengengengenauer Fehlererkennung und automatischer Wiederherstellung. Ein kompletter Satz von Werkzeugen, die eine einfache und zuverlässige Wartung ermöglichen, vervollständigt das Paket. GASONICS PEP 3010A wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Ätzanforderungen von heute zu erfüllen und bietet Flexibilität und Präzision, die für die fortschrittlichsten Prozesse erforderlich ist. Die Kombination aus präziser Bildgebung, schneller und präziser Endpunkterfassung und automatisierter Wartung machen NOVELLUS PEP 3010A die ideale Lösung für jede Ätz- und Sputteranwendung.
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