Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3500 #9202560 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 3500 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher mit überlegener Leistung und Prozessflexibilität für Substrate bis zu sechs Zoll Durchmesser. Es kann Wafer mit einem Aluminiumoxid oder Quarz PETR in einem einzigen Schritt verarbeiten. GASONICS PEP 3500 verfügt über eine niedrige Kammer Gasströmung Design, ermöglicht erweiterte Läufe mit feinen Punkt und Spalt Füllungen sowie komplexe Strukturen. Es hat unabhängig gesteuerte Elektronenstrahlkanonen für eine engere Prozesssteuerung. Jede Pistole ist bis zu 500 Watt programmierbar und kann sich mit Geschwindigkeiten von bis zu 40 Zoll pro Minute über das Substrat bewegen. Die Strahlpistole ist in einen modularen, Vollfeld-magnetisierten Quellenhalter integriert, der Flexibilität bei der Quellenauswahl bietet und eine breite Palette von Anforderungen an die Materialätzung und -veraschung ermöglicht. Die optimierte Druckregelung hält während der Verarbeitung überlegene Grunddruckniveaus aufrecht. Zur Erhöhung der Sicherheit ist die gesamte Kammer aus Edelstahl gefertigt und für den Langzeitbetrieb im industriellen Umfeld ausgelegt. Das System verfügt auch über ein Kühlsystem, um Wärmeaufbau zu verhindern und das Substrat während der Verarbeitung zu schützen. NOVELLUS PEP 3500 ist mit mehrstufigen Sicherheitsmaßnahmen ausgestattet und entspricht den Anforderungen von Sicherheitsanalyse- und/oder Arbeitsschutzmanagementsystemen. Darüber hinaus ermöglicht der bordseitige Hochgeschwindigkeits-Wartungsplaner proaktive und präventive Wartungsmaßnahmen. Insgesamt bietet PEP 3500 Ätzer/Ascher überlegene Leistung und Prozessflexibilität und ist damit die ideale Wahl für jede Halbleiterätzanwendung.