Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Iridia #293658056 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 293658056
Wafergröße: 8"
Asher, 8"
Dual chamber
Component configuration:
Cassette unit:
Cluster PCM
YASKAYA XU-CM 4730 Robot controller
Chamber unit:
(2) Lift and right PCM
(2) MISC Controllers
(2) Gas controllers
(2) M/W Controllers
(2) Lamp controllers
(2) EUROTHREM 818S Temperature controllers
(2) NIKON M680 Temperature controllers
ASTEK D13765 M/W Generator (Right side)
(2) ENI ACG-6B RF Generators
(2) MKS MWH-5 RF Matchers
(2) MKS MWH-R RF Matcher boxes
(2) MKS 600 Series Pressure controllers
(2) MKS 638B-2-50-2 Pressure valves.
Gas supply:
Gas name / Range / Size
CF4 / 200 mm / 1/4" VAC
N2 / 500 mm / 1/4" VAC
O2 / 500 mm / 1/4" VAC
HE / 2 SLPM / 1/4" VAC
NF3 / 20 CC / 1/4" VAC
O2 / 50 SCCM / 1/4" VAC
Purge N2 / - / 1/4" VAC
Utility description:
(4) QC6 Connectors
(2) ISO 80 Chambers
(2) 3/8" SWG Male chambers
Misssing parts:
YASKAYA XU-RCM 4700
ASTEK D13765 M/W Generator (Left side)
Power supply: 208 V, 5-Wire, 150 A, 50/60 Hz, 3 Phase.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascher-Ausrüstung für fortschrittliche Halbleiteranwendungen. Es ist ein PECVD-System (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) mit einer 180-Watt-Gleichstrom-Plasmaquelle. Es ist mit einer Quellleistungssteuerung ausgestattet, die von 0-180 Watt in 0,1 Watt-Schritten gehen kann und eine präzise Steuerung des Ätz-/Ascheprozesses ermöglicht. Die Maschine hat auch eine Substratdrehfähigkeit von 5-1000 Umdrehungen pro Minute (1/min) und wird von einer CCD-Kamera für eine genaue Substratpositionierung gesteuert. GASONICS PEP 3510 Iridia ist mit einer Quarzätz-/Aschekammer ausgestattet, die bis zu zwei oder vier Gase zum Ätzen und Aschen verwendet. Der Quarz sorgt dafür, dass die Ätz- und Ascheprozesse nicht durch Verunreinigungen wie Metalle verunreinigt werden, die während des Prozesses abbrechen können. NOVELLUS PEP 3510 Iridia verfügt zudem über eine Gasfördereinheit, die es ermöglicht, eine breite Palette von Gasgemischen in die Ätz-/Aschekammer zu liefern. Dadurch kann der Benutzer die Öffnungs- und Schließzeiten der die Ätz- und Ascheprozesse steuernden Schieber feinjustieren. PEP 3510 Iridia hat eine hochreine Ionenquelle mit 90 Grad Winkel und bis zu 200 Watt Leistung. Sie ist in der Lage, eine breite Palette von Ionen und Radikalen herzustellen, die zum Ätzen und Aschen verwendet werden können. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia verfügt über eine mehrstufige Gassteuerungsmaschine, die präzise Ätz-/Aschegrade ermöglicht und eine breite Palette von Prozessparametern wie Ätz-/Aschedauer, Druck, Temperatur und Durchfluss einstellbar ist. Schließlich ist GASONICS PEP 3510 Iridia mit einem Plasma-Monitor ausgestattet und kann Gaskonzentrationen in Echtzeit messen. Der Monitor ermöglicht es dem Anwender auch, die Plasmawellen in Echtzeit zu betrachten, um optimale Prozessbedingungen zu gewährleisten. Abschließend ist NOVELLUS PEP 3510 Iridia ein High-End-Ätzer/Ascher-Werkzeug, das für das präzise, kontrollierte Ätzen und Aschen von fortgeschrittenen Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Seine erweiterten Funktionen geben den Benutzern die Kontrolle über die Prozessparameter und ermöglichen es ihnen, die Prozesse in Echtzeit zu überwachen, was es zu einem idealen Werkzeug für Ätz-/Ashing-Operationen macht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor