Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Plus #293753218 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus ist ein Ätzer/Ascher für die Verarbeitung von erweiterten Halbleiterbauelementen. Es handelt sich um einen Multiplaten-Ätzer/Ascher mit vier einzeln unabhängig voneinander beladenen Wafer-Platten-Haltern. Die Maschine verfügt über erweiterte Funktionen wie erweiterte Prozesskontrolle, hohen Durchsatz und niedrige Gesamtbetriebskosten. GASONICS PEP 3510 Plus verfügt über eine einzige Waferbearbeitungskammer mit optimierten Ätz- und Aschefunktionen. Es verfügt über eine leicht zugängliche vordere Lade-/Entladetür, um die Waferübertragung und das Laden in einem Schritt zu ermöglichen. Es verfügt über einen Waferhaltemechanismus, um eine präzise Bewegung und eine ordnungsgemäße Ausrichtung von Wafer zu Kammer zu gewährleisten. Die Kammer umfasst den Layer Etch Dispense (LED) -Prozess, um eine überlegene Plasmaätzsteuerung zu ermöglichen und eine präzise Schichtdickensteuerung zu ermöglichen. NOVELLUS PEP 3510 Plus verfügt zudem über einen optimierten Endpunkt-Erkennungsalgorithmus (ETD) mit hohem Durchsatz, um die Prozessvariabilität zu reduzieren und die Schichtgleichmäßigkeit zu verbessern. Es verwendet automatisierte In-situ-Prozessüberwachung mit dem Layer Etch Monitor (LEM), um Abfall zu reduzieren und den Schichtdickenverlust durch Überwachung von Ätzprozessparametern und Prozesszeit zu minimieren. Schließlich verfügt PEP 3510 Plus über eine Resource Smart-Funktion, die es ermöglicht, das optimale Rezept und den Prozesszyklus zu identifizieren, um gewünschte Gerätestruktureigenschaften zu erreichen, den Geräteertrag zu verbessern und die Gesamtbetriebskosten zu senken. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus wurde entwickelt, um die höchsten Durchsatzanforderungen der fortschrittlichen Halbleiterbauelementverarbeitung zu erfüllen und überlegene Ergebnisse zu erzielen. Es hat Hochtemperatur-Titanätzkammern für gleichmäßiges Ätzen und überlegene Ascheeigenschaften. Es verfügt auch über Niedrigenergieeinstellungen, um Partikelverunreinigungen zu reduzieren und die Gerätesicherheit zu erhöhen. Die hochpräzisen Ergebnisse von GASONICS PEP 3510 Plus ermöglichen das Ätzen und Veraschen unter 20 nm in Standardspalten und komplexen Konstruktionen. Die Maschine wurde auch entworfen, um die geltenden Sicherheitsstandards zu erfüllen, einschließlich OSHA, NFPA und CSA. Insgesamt ist NOVELLUS PEP 3510 Plus ein Multi-Platen-Ätzer/Ascher mit Funktionen zur Erhöhung der Prozesskontrolle, zur Gewährleistung einer präzisen Schichtdickensteuerung, zur Verringerung der Prozessvariabilität, zur Minimierung des Schichtdickenverlusts und zur Reduzierung der Gesamtbetriebskosten. Es ist mit hohen Durchsatzkapazitäten und optimierter Endpunkterkennung konzipiert, um überlegene Prozessergebnisse zu gewährleisten. Dies macht es zu einer idealen Wahl für die fortschrittliche Gerätebearbeitung.