Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Plus #293794156 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus ist eine vielseitige Ätz- und Aschemaschine. Es ist ein hochautomatisiertes, hochflexibles und einfach zu bedienendes System, das Substrate diffundiert, implantiert, ätzt und verarbeitet. Es verfügt über eine Stufe mit einer vollautomatischen Substrataustauscheinheit, die kontinuierlich Substrate von bis zu vier Quellkassetten belastet. Die Maschine bietet maximale Flexibilität durch Variation der Ascher- und Ätzmodi, Kammerkonfigurationen und Substratdurchmesser. Das Werkzeug ermöglicht auch eine schnelle Lastzykluszeit, wodurch Ausfallzeiten reduziert werden. Das Gerät wird auch mit einer Hochtemperatur-Ätzkammer und einer Ascherkammer geliefert. Mit einer großen Monochlor-Silan-Düse werden beim Ätzen und Aschen gleichmäßige Reaktivgase bei niedriger Temperatur zugeführt. Die Düse ist mit einem einstellbaren Gasfördermodell ausgestattet, das eine gleichmäßige Gasverteilung über das gesamte Substrat ermöglicht. GASONICS PEP 3510 Plus verfügt zudem über eine Direktantriebssteuerung für höhere Prozesskontrollgenauigkeit. Das System verfügt außerdem über eine omnidirektionale Waferbewegungssteuereinheit, die zur Verringerung von Substratverzerrungen und Vibrationen ausgelegt ist. Die modulare Maschine ermöglicht eine breite Palette von Prozessrezepten, die gespeichert und aus dem Speicher abgerufen werden können. Benutzer können Rezepte für Ätz-, Ashing- und andere Front-End- oder Back-End-Prozessschritte erstellen. Das Tool enthält auch ein CAPE-Softwarepaket (Computer Aided Process Engineering), mit dem Benutzer das Asset für spezialisierte Prozesse programmieren können. Das Modell wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz, geringe Partikelkollisionen und geringen Stromverbrauch zu bieten. Es ist auch für den Betrieb in Niedervakuum- oder Hochdruckumgebungen konzipiert und eignet sich daher hervorragend für verschiedene Anwendungen wie die Herstellung von Wafern, die Herstellung von Halbleiterbauelementen, die Herstellung von Plattenlaufwerken und die Herstellung von MEMs. NOVELLUS PEP 3510 Plus ist eine ideale Ausrüstung für Labore oder Produktionsumgebungen. Es ist mit einem hochwertigen Satz von Komponenten gebaut, die es zuverlässig, langlebig und kostengünstig macht.