Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #293587292 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher. Diese Kammer ist für den Einsatz in der Produktion ausgelegt und fasst je nach Konfiguration bis zu fünf Prozesskammern und eine oder zwei Vorreinigungskammern. Dieses erweiterte Tool ist in der Lage, einzelne Wafer sowie Batch-Verarbeitung von mehreren Wafern auszuführen. GASONICS PEP 3510 verfügt über ein Iontek-Upgrade, das eine präzise Ionenimplantation ermöglicht. Sie weist eine austauschbare Quellkammer mit einer Quellendrehverteidigungseinrichtung und einem 7x10 Kraftsensor zur Messung der Gleichmäßigkeit der Implantation auf. Die Trägerkammer des Substrats hat erhöhte Aufzüge integriert, um Verschmutzungen und thermische Gradienten über dem Substrat zu verhindern. Das Gasfördersystem kann bis zu vier verschiedene Gasmischungen mit einer Einheit von Elektroventilanschlüssen und Drucksteuerungen bereitstellen, die eine saubere und stabile Umgebung aufrechterhalten. Die Kammer hat auch eine fortschrittliche Temperaturregelung und Kühlmaschine. Es enthält einen eingebauten Kühler und einen Ofen, der eine temperaturgeregelte Umgebung mit einem Temperaturbereich von 0 bis 600C bietet. Die Temperatur der Kammer wird mit einem GASONICS ThermalVision Tool überwacht. Um eine dichte Vakuumdichtung zu gewährleisten, wird NOVELLUS PEP 3510 standardmäßig mit zwei robusten Schieberventilen geliefert. Das erste Ventil regelt den Spannungseingang, während das zweite gezielt eine enge Vakuumumgebung aufrechterhält. Darüber hinaus verfügt PEP 3510 auch über leistungsstarke private Gassensoren und Detektoren, um zusätzliche Sicherheit gegen Kontamination und Abscheidung zu bieten. Die Kammer kommt mit einem fortschrittlichen Drei-Wege-automatisierte Plasma-Power Control Asset & eine überlegene Plasmaquelle. Dies gewährleistet eine wiederholbare, fehlerfreie Verarbeitung bei besserer Kontrolle der Ätzung. Darüber hinaus verfügt dieses Tool über ein programmierbares Kantenerfolgsmodell mit Impedanzrobotik, so dass Benutzer das Kantenprofil ihrer Ätzung leicht anpassen können. Um eine saubere Verarbeitungsumgebung zu gewährleisten, ist GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 mit einem leistungsstarken NOVELLUS Pulse-O-Mizer ausgestattet. Dieses System ist in der Lage, Bursts von sehr niedrigenergetischem Plasma zur Entfernung von Partikeln zu erzeugen, wodurch eine stabile und teilchenfreie Betriebsumgebung entsteht. Insgesamt ist GASONICS PEP 3510 ein herausragender Ätzer/Ascher. Es verfügt über ein effektives Design mit allen notwendigen Funktionen zur Durchführung von Präzisionsätz- und Ascheprozessen sowie zusätzliche Sicherheitsmerkmale, die eine sichere Arbeitsumgebung gewährleisten.