Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9195885 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Ätzer/Ascher ist eine Hochleistungs-Plasmaätz- und Aschemaschine, die in fortschrittlichen Mikroherstellungsprozessen verwendet wird. Es ist als kostengünstige, wirtschaftliche Lösung für das Ätzen und Aschen von Dünnschichtschichten auf Siliziumbasis konzipiert. GASONICS PEP 3510 kombiniert ein patentiertes Co-Flow-Duschkopfdesign, eine mehrschichtige Abschirmung und andere fortschrittliche Ätztechnologien, um ein ultrapräzises, hochpräzises Ätzverfahren zu bieten. Das System ist in der Lage, eine sehr dünne Ätzung mit minimaler Verschmutzung zu erreichen. NOVELLUS PEP 3510 verwendet eine patentierte Co-Flow-Duschkopfdüse, die das Ätzmittel und die Kupplungsdämpfe in acht Quadranten unterteilt. Dadurch entsteht ein gleichmäßiger und präziser Ätzprozess ohne Mikro-Ätzverzerrung oder Voiding. PEP 3510 verfügt über eine patentierte mehrschichtige Abschirmeinheit, die zwischen Ätzmittel und Kupplungsmittel für eine verbesserte Prozesssteuerung unterscheidet. Die Maschine bietet eine thermisch isolierte Umgebung für den Ätzprozess, wodurch Mikroätzverzerrungen minimiert werden. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 ist ein extrem schnelles und wirtschaftliches Werkzeug. Es ist in der Lage, eine Ätzrate von bis zu 30 Mikron pro Minute zu erreichen. Es ist in der Lage, große Anzahl von Substraten gleichzeitig zu verarbeiten und ist in der Lage, eine breite Palette von Lieferanten unterzubringen. Die Anlage verwendet ein universelles Ätzrezept und ist mit mehreren Gasen kompatibel, was zu einer reduzierten Prozesskomplexität und -zeit führt. GASONICS PEP 3510 bietet eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, um die höchstmögliche Produktqualität zu gewährleisten. Es verwendet eine zweifrequent verteilte Stromversorgung, die Leistungsschwankungen verhindert und eine stabile Ätzumgebung bietet. NOVELLUS PEP 3510 bietet auch eine programmierbare Produktabhebung und Rezeptoptimierung, die eine präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglicht. Schließlich bietet es mehrere Sicherheitsfunktionen, einschließlich Fernüberwachung, einen Notabschalter und ein gefiltertes Abgasmodell, um die Gesundheit und Sicherheit der Betreiber zu gewährleisten. Insgesamt ist PEP 3510 Ätzer/Ascher eine ausgezeichnete Wahl für fortschrittliche Mikrofabrikationsprozesse. Es bietet eine präzise, schnelle und wirtschaftliche Möglichkeit, Dünnschichtschichten mit minimaler Verschmutzung zu ätzen und zu veraschen. Seine Kombination aus fortschrittlichen Technologien, innovativen Funktionen und Sicherheitsmaßnahmen machen es zu einer idealen Wahl für das Ätzen und Aschen von Dünnschichtschichten auf Siliziumbasis.