Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9312374 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 ist eine Ätz- und Ascheeinrichtung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein High-End-System, das zwei der beliebtesten Prozesstechniken kombiniert - eine Plasmaätzung und eine Streifenasche. Es ist zu hohem Durchsatz fähig und ermöglicht eine Prozessintegration für hohe Ausbeuten an Ätz- und Ascheprozessen. GASONICS PEP 3510 besteht aus einem Hauptsteuermodul, einer Vakuumeinheit und der Prozesskammer. NOVELLUS PEP 3510 enthält eine Benutzeroberfläche, die ein individuelles Rezept-Setup durch seine computergesteuerte Maschine ermöglicht. Das Vakuumwerkzeug steuert den Druck der Prozesskammer und wird vakuumbetrieben, während das Hauptsteuermodul die volle Kontrolle über alle Prozessfunktionen bietet. PEP 3510 verwendet ein Plasmaätzverfahren, das eine höhere Selektivität und Ätzrate als herkömmliche Ätztechniken aufweist. Der Plasmaätzprozess reduziert die Belastung der Ätzmaske, ermöglicht höhere Ausbeuten und reduziert die Verunreinigungschancen. Der Ätzvorgang kann entweder in einer Richtung oder in zwei Richtungen durchgeführt werden, mit der Fähigkeit, die Ätzrichtung unabhängig zu steuern. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 bietet auch ein Bandascheverfahren an, bei dem eine Aschekammer verwendet wird, um eine Oxidschicht vom Wafer abzuziehen. Es ist ein trockener Strippprozess, der effizienter ist als nasse Strippprozesse. Die Aschekammer kann entweder einstufig oder mehrstufig für hochintegrierte Prozessschritte betrieben werden. Darüber hinaus umfasst GASONICS PEP 3510 eine Vielzahl fortschrittlicher Prozesstechnologien zur Verbesserung der Ätz- und Ascheprozesse. Dazu gehören fortschrittliche Wafer-Handhabungssysteme, automatisierte Wafer- und Probenladesysteme, kryogene Lieferung für hohe Durchsatzraten und dedizierte Werkzeugsoftware für die fortschrittliche Rezepturentwicklung. Insgesamt ist NOVELLUS PEP 3510 ein zuverlässiges Ätz- und Veraschungsgut, das durch effiziente Prozessintegration hohe Erträge bietet. Die Kombination aus fortschrittlichen Prozesstechnologien und Robustheit machen es zu einer großen Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.