Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9146555 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A ist ein fortschrittliches Ätz-/Aschewerkzeug, das hochpräzise Ätz- und Oberflächenmodifikationen ermöglicht. Es ist ein integriertes mehrstufiges Prozesswerkzeug, das sowohl das Ätzen als auch die Oberflächenmodifizierung auf einer einzigen Plattform unterstützt. Dies wird durch Verwendung einer einzigen Gasleitung und eines feinteiligen Elektrodenarrays sowie einer Vielzahl von Leistungsstufen und chemischen Kombinationen erreicht. Das Tool wurde speziell für anspruchsvolle 3D-Speicher und gestapelte Geräteanwendungen entwickelt. GASONICS PEP 3510A bietet eine unübertroffene Geschwindigkeit von bis zu 100 Wafern/Stunde, was zu einer Prozesszeit von weniger als 10 Sekunden pro Wafer führt. Darüber hinaus ermöglicht die Plattform ein breites Prozessspektrum von flachen Ätztiefen bis über 6 Mikrometer und eine sehr enge Kontrolle der Prozesswiederholbarkeit und -genauigkeit. Dadurch eignet sich das Ätz-/Aschewerkzeug hervorragend für Geräte mit mehrlagigen Tiefenstrukturen, unterer Seitenwandmusterung und FinFETs. Das Tool wurde mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen und Optionen entwickelt, darunter ein Vier-Balance-Elektroden-Array, ein eingebautes Kapazitätsmanometer und spektroskopische digitale Massenstromregler. Dies ermöglicht eine engmaschige Prozesskontrolle sowie eine genaue Chemie-Lieferung und Temperaturregelung. NOVELLUS PEP 3510A ist in der Lage, eine breite Palette von Chemikalien zu handhaben, einschließlich Chlor, Brom, fluorierte, Oxidationsmittel und mehr, so dass Benutzer den Prozess entsprechend ihrer spezifischen Anwendung anpassen können. Darüber hinaus umfasst PEP 3510A eine verteilte Stromversorgungsunterstützung mit mehreren Ein- und Ausgängen. Dies hilft, die Wiederholbarkeit und Genauigkeit des Prozesses weiter zu gewährleisten. Abschließend ist GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A ein fortschrittliches Hochgeschwindigkeits-Ätz-/Aschewerkzeug mit einer Reihe von Funktionen und Optionen, die eine enge Prozesskontrolle, eine genaue Chemie-Lieferung und eine hervorragende Wiederholbarkeit gewährleisten. Damit ist GASONICS PEP 3510A ideal für Anwender, die eine zuverlässige, hochpräzise Ätz- und Oberflächenmodifikationslösung für anspruchsvolle 3D-Speicher- und Stacked-Device-Anwendungen suchen.