Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9146556 zu verkaufen
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ID: 9146556
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Asher, 8"
Machine hours: 29389
Cassette interface:
(2) ASYST Integrated SMIF
Wafer handler: Dual blade
Model: XU-RCM4700 rev 3
Left module:
Model: PEP 3510A (L)
Configuration: 95-0481
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: Astex OEM C13170 (1250W)
Hours: 34260.9
Left module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 BROOKS 5964
N2 200 BROOKS 5964
N2H2 4000 BROOKS 5964
Right module:
Model: PEP 3510A (R)
Configuration: 95-0482
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: Astex OEM C13170 (1250W)
Hours: 16547.1
Right module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 BROOKS 5964
N2 200 BROOKS 5964
N2H2 4000 BROOKS 5964
Power: 208 V, 60 Hz, 150 A, 1 Phase / WYE
1997 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Anwendungen. Diese Maschine ist in der Lage, verschiedene Materialien mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit für uns in der mikroelektronischen und optoelektronischen Fertigung genau zu ätzen oder zu aschen. GASONICS PEP 3510A verfügt über eine fortschrittliche softwarebasierte, motorisch angetriebene Steuerung, mit der verschiedene Ätz- oder Ascheparameter wie Kammerdruck, Reaktionszeit und Temperatur programmiert werden können. Dies ermöglicht ein schnelles und genaues Ätzen oder Aschen des Zielmaterials. NOVELLUS PEP 3510A verfügt auch über zwei verschiedene Kammern, die in einer Vakuumumgebung gehalten werden. Jede Kammer verfügt über eine eigene, individuell gesteuerte HF-Stromversorgung und kann je nach Bedarf zum Ätzen oder zum Aschen konfiguriert werden. PEP 3510A bietet auch mehrere Sicherheitsmerkmale, darunter ein Verriegelungssystem, ein Absperrventil und ein Manometer. Diese Sicherheitsmerkmale sollen sicherstellen, dass das geätzte oder ashte Material von höchster Qualität ist und die Umgebung der Maschine stets sicher und genau gewahrt bleibt. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A ist eine sehr vielseitige Maschine, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen oder zu aschen, darunter Aluminium, Silizium, Galliumarsenid, Indiumphosphid und andere Hochleistungsmaterialien. Damit ist sie eine ideale Maschine für den Einsatz in hochpräzisen Fertigungsanwendungen. Neben seinen Ätz- und Aschefunktionen verfügt GASONICS PEP 3510A auch über eine eingebaute Plasmaquelle, die für die Nachätz- oder Aschereinigung verwendet werden kann. Die Plasmaquelle ist sowohl für die Trockenplasmareinigung als auch für die Nassplasmareinigung einstellbar. Dies hilft, ein sauberes und beschädigungsfreies Finish nach dem Ätzen oder Aschen zu gewährleisten. Schließlich ist NOVELLUS PEP 3510A eine äußerst effiziente Maschine. Das einzigartige Design und der fortschrittliche softwaregesteuerte Motorantrieb sorgen für hohe Leistung und schnelle Zykluszeiten. Darüber hinaus sind die Bedienelemente der Maschine einfach und einfach zu bedienen, was sicherstellt, dass Benutzer ihre Ätz- und Ascheprozesse schnell und präzise einrichten, programmieren und ausführen können.
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