Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9170813 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A ist ein Ätz- und Aschemaschinendesign für großvolumige Chip-Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es wird für die Musterübertragung und Geräteherstellung der neuesten IC (Integrated Circuit) Designs verwendet. Das System verfügt über eine 6-kanalige Parallelverarbeitungsarchitektur, die effiziente Ätz-/Ascheprozesse auf verschiedensten Materialien ermöglicht und somit ideal für die Serienproduktion geeignet ist. Das Gerät ist zudem mit einer engen Prozessintegration ausgestattet und kann problemlos in andere GASONICS Geräte integriert werden. Die Maschine besteht aus einem Roboter-Ladedock und Entladedock, einem Großrechnerprozessor, einer Vakuumkammer und einer Reihe von Kolben und Vakuumpumpen. Das Roboterdock verwendet einen Gelenkarm, um Wafer von der Kassettenwarteschlangen-Station zur Ätzkammer zu bewegen. Der Mainframe-Prozessor ermöglicht eine genaue Kontrolle der Ätzparameter. Die Vakuumkammer hält den Wafer während der Ätz- und Ascheprozesse, und die Kolben und Vakuumpumpen werden verwendet, um den Druck in der Kammer zu bewegen, zu steuern und aufrechtzuerhalten. Das Werkzeug ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen und zu aschen, einschließlich Siliziumscheiben, Aluminium, Kupfer, Wolfram und andere. Es hat die Fähigkeit, bis zu 4500 Wafer pro Stunde in einer einzigen Kammer zu verarbeiten. Das Asset verfügt auch über eine Vielzahl von Ätz- und Ascheparametern, an die es programmiert werden kann, wodurch die Genauigkeit und Wiederholbarkeit erhöht wird. Das Modell ist mit innovativen Sicherheits- und Schadstoffkontrollfunktionen ausgestattet. Waferkassetten werden während des Übergabevorgangs von den Geräten isoliert, wodurch die Gefahr einer Kontamination oder Beschädigung verringert wird. Das System umfasst auch einen Wafer-Feuchtigkeitssensor, ein elektrostatisches Spannfutter, um eine ordnungsgemäße Be- und Entladung von Wafern zu gewährleisten, und hocheffiziente Filter, um Partikel- und Dampfverunreinigungen zu minimieren. GASONICS PEP 3510A ist eine leistungsstarke und zuverlässige Ätz- und Ascheeinheit, die für die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie an die Verarbeitung von Wafern ausgelegt ist. Mit seinen leistungsstarken Funktionen, der engen Prozessintegration und innovativen Sicherheitsmerkmalen ist es eine gute Wahl für Chip-Herstellungsoperationen, die genaue und wiederholbare Mustertransfers erfordern.