Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 4800 #9352587 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800 ist eine fortschrittliche und hocheffiziente Ätz-/Aschermaschine, die beispiellose Leistung für Präzisionsanwendungen bietet. Das System basiert auf dem Konzept der parallelen Verarbeitung und ermöglicht einen schnelleren und effizienteren Betrieb als viele andere Systeme, die derzeit verfügbar sind. GASONICS PEP 4800 kommt mit zwei hochpräzisen, niedrig profilierenden Kammern, die Parallel Metallization Transfer (MFT) Technologie verwenden, um Metallfolien auf dem Substrat abzuscheiden. Dies ermöglicht ein präzises Ätzen und Aschen unter Beibehaltung der Sauberkeit des Substrats während des gesamten Prozesses. Das Gerät ist mit zwei unabhängig voneinander gesteuerten und separat angeordneten Plasmen ausgestattet. Die Prozessparameter lassen sich einfach über die integrierte PEP-Steuerungsmaschine konfigurieren, die eine vollständige Werkzeugüberwachung und -steuerung ermöglicht. NOVELLUS PEP 4800 verwendet fortschrittliche Diagnose-, Qualitäts- und Feedback-Protokolle, um eine qualitativ hochwertige Ablagerung zu gewährleisten. Die integrierte Prozesssteuerung ermöglicht es Anwendern, den Ätz- und Ascheprozess in Echtzeit zu überwachen. Darüber hinaus ist PEP 4800 mit einer effizienten Substratsteuerung ausgestattet, da es über eine Vakuum-, Hochleistungs-Gleichstromversorgung, ein Endpunkterkennungsmodell und eine austauschbare Substratstützausrüstung verfügt. GASONICS/NOVELLUS PEP 4800 kommt auch mit einer Reihe von erweiterten Funktionen ausgestattet, einschließlich aktiver Substratkühlung und einem automatisierten Multi-Source-Gasmischsystem. Die Gasmischeinheit ist so ausgelegt, dass sie ein konsistentes Gemisch von hochflüchtigen Gasmolekülen gewährleistet und einen hochgenauen Beschichtungsabscheidungsprozess ermöglicht. Darüber hinaus wurde GASONICS PEP 4800 mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen entwickelt, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Dazu gehören eine gasdichte Kammer, zwei Not-Aus-Schalter, eine Gasabschaltzeit und eine Abgasmaschine mit integrierter Filtration. Insgesamt ist NOVELLUS PEP 4800 eine ideale Lösung für präzise Ätz- und Ascheanwendungen. Das Tool bietet leistungsstarke Effizienz in Kombination mit präzisen und qualitativ hochwertigen Ergebnissen. Es gewährleistet auch eine sichere und zuverlässige Betriebserfahrung aufgrund der fortgeschrittenen Sicherheitsmaßnahmen. PEP 4800 ist Teil einer umfassenden Lösung zum Ätzen und Veraschen komplexer Bauelementarchitekturen und daher ein unschätzbares Werkzeug für die moderne Halbleiterindustrie.