Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #293595640 zu verkaufen

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia ist ein industrieller Ätzer/Ascher, der für ultrahochpräzises kritisches Schichtätzen und Hochgeschwindigkeitsbearbeitung entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine breite Palette von High-End-Bearbeitungsanforderungen wie flache Grabenätzung, Graben-zu-Graben-Plattierung, Trockenätzen und rückseitige Kontaktätzung durchzuführen. Mit einer fortschrittlichen Lithographieausrüstung und einem Gasfördersystem ist die Maschine in der Lage, anspruchsvolle Strukturen auf Submikron-Ebene mit einer hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erzeugen. Die Maschine ist mit einer einzigartigen zweistufigen Plattendreheinheit ausgestattet, die eine hohe Konsistenz gewährleistet und eine optimale Platzierung sowohl geätzter als auch aschierter Schichten ermöglicht. Die PEP- 4800DL ist in der Lage, Substrate bis zu 8 Zoll zu verarbeiten. (200 mm) Durchmesser und bis zu 0,4 Zoll. (10 mm) dick. Es verwendet sowohl nasse als auch trockene Ätzverfahren, die die Herstellung hochkomplexer Geräte ermöglichen. Standardmäßig ist die Maschine mit einer leistungsstarken und stabilen Gleichstrom/Wechselstrom-Plasmaquelle ausgestattet, die zu jeder Zeit eine stabile Plume liefert. Für maximale Flexibilität kann die Maschine mit bis zu 24 unabhängigen Prozesskammern ausgestattet werden und ist in der Lage, eine Vielzahl von chemischen Vorstufen und Gasen zu handhaben. Die fortschrittliche integrierte Gasliefermaschine bietet einen sehr zuverlässigen und konsistenten Gasfluss, der eine perfekte Prozessanpassung für jede Ätz- oder Ascheanforderung gewährleistet. Das PEP- 4800DL ist vollautomatisiert und verfügt über ein integriertes Monitor- und Datenerfassungswerkzeug, das den Eingriff des Bedieners verhindert und präzise, reproduzierbare Ergebnisse liefert. Es ist mit einem ausgeklügelten computergesteuerten Prozesszyklus konfiguriert, der es dem Ingenieur ermöglicht, Prozessparameter zu ändern und Prozesse zu optimieren. Darüber hinaus kann es mit einem optionalen Nachbehandlungsmechanismus ausgestattet werden, mit dem eine vollständige Fehlerfreiheit während der Verarbeitung gewährleistet werden kann. Die Maschine integriert sich auch in NOVELLUS/GASONICS/NOVELLUS Aftermarket-Prozessüberwachungs- und -Analysesoftware, die eine vollständige Prozesssteuerung und -verfolgung während der Verarbeitung ermöglicht.