Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #9308743 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia ist eine Ätz-/Aschemaschine, die für die Hochdurchsatz- und Low-Profile-Back-End-Verarbeitung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Das System verwendet zwei Ebenen von Roboterarmen, um in idealen branchenüblichen Halbleiterfab-Umgebungen zu arbeiten. Die erste Schicht der vierachsigen Roboterarme dient dazu, einzelne Wafer innerhalb der Ätz-/Aschereinheit in und aus Kammern zu bewegen. Die zweite Schicht der Roboterarme dient zur Montage und exakten Positionierung der Wafer und zum Platzieren von Zubehör, das für den Ätz-/Ascheprozess unerlässlich ist. GASONICS PEP 4800DL Iridia verfügt über eine automatisierte Verarbeitungskammer, die bei niedrigen Temperaturen läuft, die den Durchsatz maximiert und dennoch qualitativ hochwertige Ergebnisse liefert. Diese Kammer ist bis zu 350 ° C temperaturfähig. Es weist auch mehrere Kammern auf, die das Einbringen von Gasen oder Lösungsmitteln beim Ätzen/Aschen ermöglichen, sowie eine Kammer, die zur Überwachung der Qualität der Wafer nach der Verarbeitung verwendet werden kann. Darüber hinaus verfügt NOVELLUS PEP 4800DL Iridia über eine hochwertige CCD-Bildgebungsmaschine zur genauen Ausrichtung der Wafer auf die Prozessausrüstung. Das Tool läuft mit einer maßgeschneiderten Betriebssoftware, die die programmierte Optimierung des Ätz-/Ascheprozesses ermöglicht. Diese Software kann programmiert werden, um Parameter wie Verarbeitungsdruck, Temperatur und Zeit zu steuern, um die bestmöglichen Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus kann das Asset einfach aus der Ferne überwacht und gesteuert werden, was eine hohe Flexibilität bei der Verwaltung des Prozesses ermöglicht. Insgesamt ist PEP 4800DL Iridia ein außergewöhnliches Ätzer/Ascher-Modell, das eine leistungsstarke, niedrige Temperatur-Prozesssteuerung und Flexibilität bietet. Es bietet einen hohen Durchsatz mit minimalem Abfall und überlegenen Ergebnissen für die Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Das robuste Design macht es perfekt für Halbleiterfabriken mit maximaler Kapazität und ermöglicht höchste Effizienz und Genauigkeit in der Waferproduktion.