Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #9382963 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia ist eine Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) -Ausrüstung, die fortschrittliche Ätz- und Aschetechnologien mit hoher Prozessoptimierung für mikroelektronische Geräteanwendungen bietet. Dieser Ätzer/Ascher ermöglicht eine effiziente Gerätebildung, -integration und -verbesserung mit präziser Kontrolle über Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit der Abscheidung, wodurch die Variabilität der Geräteschichten eliminiert und eine präzise Dünnschichtabscheidung ermöglicht wird. Die integrierte Waferheizung, Automatisierung und verbesserte Dispersionstechnologien ermöglichen eine zuverlässige und effektive Prozesssteuerung für wiederholbare Ergebnisse. GASONICS PEP 4800DL Iridia verwendet eine Hochleistungs-Gasdeckeneinheit zur Unterstützung einer Vielzahl von Ätzchemie, die branchenführende Ätzrate und Einheitlichkeit bietet. Diese Maschine umfasst fortschrittliche Softwaretechnologien, die eine Prozessoptimierung und Feinabstimmung auf anpassbare Weise ermöglichen und qualitativ hochwertige Prozessergebnisse für eine Vielzahl von Gerätetypen ermöglichen. Die patentierte DPI-Technologie (Dynamic Process Integration) des Ätzers/Aschers nutzt fortschrittliche Algorithmen, um Ätz- und Ascheaufträge auf Wafer-für-Wafer-Basis zu optimieren. Die DPI-Technologie interpretiert Daten auf Waferebene intelligent, damit Benutzer Arbeitsrezepte anpassen können, um den Durchsatz, die Ausbeute und die Qualität zu maximieren. NOVELLUS PEP 4800DL Iridias fortschrittliche Soft- etch™-Technologie ermöglicht breitbandiges, niederspannendes Ätzen und ermöglicht eine kontrollierte Variation der Ätztiefe ohne Varianzen der Ätzrate. Dadurch können feinere geätzte Strukturen und nanoskalige Merkmale hergestellt werden, was bessere und kompliziertere Gerätedesigns ermöglicht. Das Tool wird durch eine leistungsstarke, vollautomatische Steuerung mit Adaptive Processing Control™ Technologie angetrieben und bietet Benutzern die Möglichkeit, Ätz- und Ascheparameter einfach anzupassen, für perfekte Waferqualität und Einheitlichkeit. Das Modell bietet auch Remote- Assistance™-Software, die fachkundigen Remote-On-Demand-Service bietet, um die Produktivität zu maximieren und Ausfallzeiten zu minimieren. Um die Prozesseffizienz weiter zu erhöhen, verfügt PEP 4800DL Iridia über schnelle DC-Heilungs- und Preclean-Technologien, wodurch die Verdampfung von HCl vor dem Ätzen überflüssig wird. Diese Ausrüstung ist auch mit einem selbstreinigenden Prozess ausgestattet, der eine schnelle Waferreinigung zwischen den Ätzläufen ermöglicht. Insgesamt ist GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia ein leistungsstarkes und fortschrittliches Ätz-/Aschersystem, das für hochwertiges Ätzen, Aschen und Abscheiden von mikroelektronischen Geräten entwickelt wurde. Mit ausgeklügelten Prozessoptimierungs- und Anpassungsfähigkeiten, außergewöhnlicher Kontrolle und Einheitlichkeit sowie effizienten Dispersions- und Reinigungstechnologien ist GASONICS PEP 4800DL Iridia eine ausgezeichnete Wahl für jede Fertigungsanlage.