Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL #9404470 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL ist ein hochmoderner Plasmaätzer/Ascher, der für den Einsatz in der Halbleiter-, Material- und Submikrongeräteherstellung entwickelt wurde. Diese Anlage ist in der Lage, eine breite Palette von Ätz- und Ascheprozessen durchzuführen und wurde für den Einsatz in Serienproduktionen konzipiert. Das System verwendet ein Dual-Laser-Plasmaätzverfahren, d.h. zwei Laser unterschiedlicher Wellenlänge werden verwendet, um Material gleichzeitig zu verdampfen, was zu einer ausgezeichneten Ätzgenauigkeit und Gleichmäßigkeit über das Substrat führt. GASONICS PEP 4800DL ist mit einem 5x5mm Strahlfleck ausgestattet und kann Funktionsgrößen bis zu 5nm ätzen. Das Gerät hat eine Kapazität von bis zu 600 Wafern pro Charge und ist auch mit einem Rezept und Bearbeitungsfunktionen programmiert, mit denen Benutzer Ätzrezepte an ihre spezifischen Geräteanforderungen anpassen können. Die Maschine ist sowohl mit einer chemischen als auch mit einer Gasquelle ausgestattet, so dass sie eine breite Palette von Materialien verarbeiten kann. Die chemische Quelle besteht aus der chemischen Versorgung, die über einen flexiblen Schlauch mit dem Werkzeug verbunden ist. Die Gasquelle besteht aus einem hochfrequenzbetriebenen Gerät, das zur Versorgung der Anlage mit Ätz- und Spülgasen dient. Das Modell verfügt außerdem über eine Hochvakuumkammer sowie mehrere In-situ- und Ex-situ-Überwachungssensoren, die es Anwendern ermöglichen, den Ätzprozess während des gesamten Ätzzyklus zu überwachen. Dadurch wird ein hohes Maß an Prozesskontrolle gewährleistet und eine gleichmäßige Ätzleistung gewährleistet. Die Ausrüstung ist auch mit einer umfassenden Sicherheitssuite ausgestattet, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Insgesamt ist NOVELLUS PEP 4800DL ein äußerst zuverlässiger und präziser Plasmaätzer/Ascher, der für den Einsatz in großen Serien konzipiert ist. Das System bietet ausgezeichnete Ätzgenauigkeit und Einheitlichkeit, ist in der Lage, Funktionen bis zu 5 nm zu ätzen und ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, mit denen Benutzer ihre Ätzrezepte an ihre spezifischen Geräteanforderungen anpassen können.