Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #122247 zu verkaufen

ID: 122247
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Asher, 8" (2) Chambers 2000 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP Iridia ist eine spezialisierte Ätz-/Ascheausrüstung, die von GASONICS und NOVELLUS entwickelt wurde, um die Komplexität und Geschwindigkeit von Ätz- und Ascheprozessen zu verbessern. Mit fortschrittlicher Laserablationstechnologie bietet GASONICS PEP Iridia eine effiziente und vielseitige Lösung für das chemische Maskieren und Ätzen von Halbleiterscheiben, die in der mikroelektronischen Industrie verwendet werden. NOVELLUS PEP IRIDIA verfügt über einen mehrachsigen Scankopf, der eine hochpräzise Laserablation über die gesamte Oberfläche eines Wafers ermöglicht. Dieser Scankopf enthält ein konfigurierbares Array von Laseremittern, das ein komplexes Netzwerk von Form/Intensität-Kombinationen beim Zielen von chemischen Masken erzeugen kann. Seine computergesteuerte Scangeschwindigkeit kann bis zu 300 mm/s erreichen und arbeitet mit einer Pulsbreite zwischen 1 - 300 ms. Dieses flexible Scannen und Hochgeschwindigkeitsbetrieb helfen, die ansonsten langsamen chemischen Masken- und Ätzprozesse zu beschleunigen. Darüber hinaus verwendet PEP Iridia Laserquellen mit einer einstellbaren Leistung von 0-200 mJ/cm ^ 2 Puls, so dass der Bediener die Ätz- und Ascheprozesse bei Bedarf feinjustieren kann. Dies bietet die Flexibilität zur Anpassung und Anpassung, so dass die Ergebnisse perfekt auf die Bedürfnisse der jeweiligen Anwendungen zugeschnitten werden können. Darüber hinaus ist das System unter Berücksichtigung der Benutzersicherheit konzipiert, mit doppelten Sicherheitsverriegelungen und einer neuartigen bioelastischen Sicherheitsschicht, die Stöße absorbiert und ableitet. Die gesamte Ätz-/Ascheeinheit ist hochautomatisiert und konfigurierbar, so dass sie einfach eingerichtet und bedient werden kann. GASONICS PEP IRIDIA arbeitet in Kombination mit GASONICS/NOVELLUS und GASONICS Software, wodurch komplizierte Konstruktionszeichnungen schnell eingegeben und dann präzise in das Ätz-/Ascherezept übersetzt werden können. Die Maschine ermöglicht letztlich effiziente, wiederholbare und zuverlässige chemische Maskierungs- und Ätzprozesse mit ausgezeichneter Präzision.
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