Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #9102816 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PEP Iridia ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascher-Ausrüstung für die Sub-300mm-Waferbearbeitung. Es kann in einer Vielzahl von Verfahren wie Photoresist und Stripping, Barriereschichten, flache Graben-Isolation und III-V-Verbindungsschichten eingesetzt werden. GASONICS PEP Iridia basiert auf fortschrittlicher Ätztechnologie und verfügt über Synchronous Gas Delivery (SGD) mit Dual Wafer Load Lock Schnittstelle. Dies ermöglicht eine präzise Kontrolle der verwendeten Chemikalien, die eine hochgenaue Anwendung der gewünschten Ätzarten ermöglicht. NOVELLUS PEP IRIDIA ist in der Lage, das Verhältnis der aktiven Arten im Ätzmittel genau zu kontrollieren, was eine hohe Produkteinheitlichkeit und verbesserte Prozessspezifikationen ermöglicht. Ebenfalls im Angebot ist der Variable Frequency Gas Exchange (VFGE), der austauschbare Prozesse auf allen Systemkonfigurationen ermöglicht. PEP IRIDIA ist eine vollständig integrierte Ätzeinheit, die mehrere Wafergrößen verarbeiten kann. Es ist für das kontinuierliche Be- und Entladen von Wafern konzipiert, mit Software, die individuelle Waferprozesse ermöglicht. Die Maschine kann mit einer Reihe fortschrittlicher Sensoren integriert werden, die mit dem Werkzeug verbunden sind, so dass der Prozess in Echtzeit überwacht werden kann. Dies erhöht die Genauigkeit und Stabilität des Ätzprozesses. NOVELLUS PEP Iridia verfügt zudem über eine verbesserte Temperaturregelung und Präzision mit einer vollautomatischen thermischen Profilierung. Dazu passt ein hochflexibles Gasregelungsmodell, das neueste PECVD- und ICP-Prozesse ermöglicht. Insgesamt ist PEP Iridia eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die für die Sub-300mm-Waferbearbeitung entwickelt wurde. Es verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Technologien, um Präzision, Stabilität und Genauigkeit während des Ätzprozesses zu ermöglichen, und eine Reihe von Software, die Flexibilität und Anpassung ermöglicht.