Gebraucht GASONICS / NOVELLUS PS 10 #9192618 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS PS 10 ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die für fortgeschrittene Abscheide- oder Ätzprozesse im Halbleiterherstellungsprozess entwickelt wurde. Das System besteht aus zwei Haupteinheiten; das Spiral 400W Netzteil und der LAM 9600 Plasmaätzer/Ascher. Es ist eine kostengünstige Lösung, die die Schaffung von qualitativ hochwertigen und hochpräzisen Schaltungsmerkmalen wie dünne Filme, Linien, Schichten und Vias ermöglicht. Das Spiral 400W Netzteil besteht aus intelligenten, selbstjustierenden Ausgangsmodulen und steuerbaren Ausgangsstufen, die bei Ätz- und Ascheprozessen gleichmäßigen Strom und Spannung liefern. Es ist flexibel gestaltet und kann je nach den Bedingungen und Anforderungen eines bestimmten Prozesses angepasst werden. Dieses Modell bietet auch erweiterte Steuerungsfunktionen, die über seine benutzerfreundliche Softwareschnittstelle aktiviert werden. Der Plasmaätzer/Ascher LAM 9600 hingegen ist mit einer speziell für fortgeschrittene Ätz- und Ascheprozesse entwickelten Plasmakammer hoher Dichte integriert. Es ist mit einer Vier-Zoll-Wafer-Ladeeinheit ausgestattet, die bis zu 20 Wafer im Batch-Modus handhaben kann und für höchste Industrieanforderungen an Sauberkeit und Prozesssicherheit ausgelegt ist. Es bietet auch eine Reihe von Prozessfunktionen, wie Hochdurchsatz-Ätzen und -Veraschen, unter Beibehaltung einer hohen Präzision. Darüber hinaus bietet die Maschine GASONICS PS 10 eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie Verriegelungssysteme und Sicherheitsprozesse, so dass gefährliche hohe Temperaturen sicher gehandhabt werden können. Das Werkzeug verwendet eine Stickstoffdusche und Turbomolekularpumpen, die dazu beitragen, eine saubere, sichere und zuverlässige Umgebung für den Betrieb der Anlage zu gewährleisten. Darüber hinaus verwendet das Modell eine fortschrittliche Diagnoseausrüstung, mit der es Auffälligkeiten im System erkennen und diagnostizieren kann, die sich auf dessen Betrieb und Leistung auswirken könnten. Insgesamt ist NOVELLUS PS 10 eine effektive und zuverlässige Lösung zur Durchführung fortschrittlicher Abscheide- und Ätzprozesse im Halbleiterherstellungsprozess. Es ist kostengünstig, bietet flexible Steuerungsfunktionen und verfügt über eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, die eine sichere und zuverlässige Arbeitsumgebung gewährleisten. Es kann darauf angewiesen werden, konsistente und präzise Ergebnisse in den anspruchsvollsten Ätz- und Ascheprozessen zu liefern.