Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Sierra #9312059 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Sierra ist ein hochmoderner Ätzer und Ascher mit fortschrittlichen und vielseitigen Fähigkeiten. Das Gerät verfügt über eine Vakuumkammer, eine Vakuumdüse und einheitliche Verarbeitungsplattformen, die ein präzises und kontrolliertes Ätzen und Aschen kleiner Substrate ermöglichen. Das Verfahren zur Niedertemperaturabscheidung (LTD) ermöglicht eine sehr dünne Abscheidung. GASONICS Sierra ist ein wichtiges Werkzeug zur Herstellung integrierter Schaltungen (IC), das die Entfernung von Materialschichten oder die Abscheidung einer oder mehrerer dünner Materialschichten ermöglicht. Es ist sowohl zum Plasmaascher als auch zum Trockenätzen in der Lage, wobei jedes Verfahren für verschiedene Anwendungen verwendet wird. Das Ätzmittel kann so gewählt werden, dass es das jeweilige Wafersubstrat und das zu verarbeitende Schichtmaterial optimal aufnimmt. NOVELLUS Sierra verfügt über einen hohen Durchsatz und ist effektiv beim Ätzen aller Arten von Materialien, einschließlich Aluminium, Polysilizium, Siliziumoxynitrid und feuerfesten Metallen. Es verfügt über einen weiten Temperaturbereich, der eine Vielzahl von Ätzprozessen ermöglicht. Es ist sehr zuverlässig und effizient, so dass eine maximale Anzahl von Line Edge Roughness (LER) und Critical Dimension (CD) Anforderungen. Dies macht es ideal für den Einsatz in der hochwertigen IC-Herstellung. Sierra verfügt auch über eine große Kammerkapazität, so dass die Handhabung von großen Anzahl von Substraten. Es ist in der Lage, Schüttgut schnell und effizient zu entfernen und gleichzeitig eine hohe Präzision zu bieten. Mit der Fähigkeit, Substrate effizient zu übertragen, bietet GASONICS/NOVELLUS Sierra eine große Flexibilität, die eine effiziente und effektive Materialabscheidung und -entfernung ermöglicht. GASONICS Sierra ist für die IC-Fertigung konzipiert, wobei dünne Schichten und eine hohe Auflösung erforderlich sind. Es bietet exzellente Zuverlässigkeit, Leistung und Flexibilität und ist somit ein idealer Ätzer und Ascher für IC-Anwendungen.