Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Strata #293760972 zu verkaufen
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GASONICS/NOVELLUS Strata ist ein Ätzer (auch bekannt als Ascher), der für fortgeschrittene Mikrofabrikationstechniken und -prozesse verwendet wird. Die GASONICS Strata Technologie ermöglicht es Unternehmen, ihre Prozesserträge zu verbessern und die Produktionskosten zu senken, indem sie den Durchsatz erhöhen, den Ertrag steigern und die Partikelkontrolle verbessern und gleichzeitig minimale Bodenfläche nutzen. Es ist speziell als Einzelmodulausrüstung konzipiert, die aus drei Hauptkomponenten besteht; Plasmaquelle, Kammer und Magnetflasche. Die Plasmaquelle, ein 650 kHz HF YBOCS, wurde entwickelt, um eine hohe Dosis an ionisiertem Gas an die Substrate zum Ätzen mit hoher Präzision und überlegener Prozesskontrolle zu liefern. Die Konstruktion sorgt auch dafür, dass die Substrate sauber und frei von Partikeln aus dem Prozess bleiben. Die zweite Komponente ist die Kammer, die aus Aluminium mit einer Schutzschicht besteht und mit einem ultraleisen Ventilator ausgestattet ist, um eine saubere und konsistente Betriebsumgebung zu erhalten. Die Magnetflasche ist die letzte Komponente des Systems, die zwischen der Plasmaquelle und der Kammer angeordnet ist und als Filter dient, um die Sauberkeit der Einheit und den gleichmäßigen Betrieb der Plasmaquelle zu gewährleisten. NOVELLUS Strata Ätzer eignet sich für eine breite Palette von Materialien einschließlich; Glas, Silizium und Silizium-auf-Isolator (SOI). Das einzigartige Design von Strata ermöglicht es, Materialien mit isotropen und anisotropen Ätztechniken zu ätzen, sodass Benutzer die gewünschten Ätzprofile für bestimmte Anwendungen erreichen können. Mit einer verbesserten Plasmabehältermaschine und einem automatisierten Werkzeug zur Temperaturregelung und Prozessoptimierung reduziert GASONICS/NOVELLUS Strata die Teilchenzahl von Substratplatten und Arbeitsbereichen deutlich. Dadurch wird sichergestellt, dass qualitativ hochwertige Produkte mit minimalen Partikelfehlern hergestellt werden können. GASONICS Strata Ätzer kann entweder in nassen oder trockenen Anwendungen verwendet werden. Bei Verwendung in einer Nassätzumgebung ist NOVELLUS Strata in der Lage, hochpräzise Ätzprofile bis auf wenige Nanometer Präzision herzustellen. Das Asset ermöglicht auch eine automatisierte Umdimensionierung und Neustrukturierung von Materialien, wodurch ein noch genauerer Ätzprozess möglich ist. Trockenätzen verwendet ein aerosolisiertes Verfahren anstelle eines Flüssigkeitsätzprozesses, das eine verbesserte Prozesskontrolle und höhere Materialausnutzung bietet. Dies macht das Trockenätzen zu einem idealen Prozess für Anwendungen, die minimale Kosten und hohe Genauigkeit erfordern. Insgesamt bietet Strata Ätzer eine effiziente und kostengünstige Möglichkeit, hochpräzise Ätzmuster und -materialien herzustellen. Das Modell wurde entwickelt, um überlegene Leistung, Prozesskontrolle und Durchsatz zu bieten und gleichzeitig minimalen Platzbedarf zu erfordern. GASONICS/NOVELLUS Strata Ätzer ist mit einer verbesserten Plasmabehälterausrüstung, automatisierter Temperaturregelung und Partikelzählreduzierung eine ideale Wahl für diejenigen, die einen zuverlässigen und leistungsstarken Ätzer suchen.
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