Gebraucht GLOW RESEARCH ST1200 #9151878 zu verkaufen
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ID: 9151878
Wafergröße: 10"
RIE system, 10"
DC bias for enhanced ion bombardment and anisotropy
Dark space shield to focus plasma
Variable electrode spacing
Top or bottom electrode power
Digital mass flow controllers
Baratron pressure read back
Throttle valve control
600 watt, 13.56 MHz
Touchscreen control
Multiple step recipes
Monitor process during process
End point solutions
Turbo pump
ICP
Heated chuck
Applications:
FA Applications
Spin on glass (SOG)
PECVD Nitride etch
Descum
Photo resist strip with heater
Contact slope etch
Via etch
BPSG Etch
TEOS Etch
Polyimide
Poly silicon.
GLOW RESEARCH ST1200 ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine für eine Vielzahl von Materialbearbeitungsanforderungen. Es ist mit einem Schwerpunkt auf Anwendersicherheit und Umweltschutz konzipiert. Das System kann sowohl zum Trockenaschen als auch zum Nassätzen verwendet werden. Auf diese Weise können verschiedene benutzerdefinierte Prozesse mit ST1200 durchgeführt werden. GLOW RESEARCH ST1200 umfasst eine fortschrittliche mehrteilige Ätzeinheit, die einen integrierten magnetischen Rührmechanismus verwendet. Dies ermöglicht die Erstellung von komplizierteren und spezialisierten Formen und Designs auf den zu ätzenden Materialien. Es bietet auch die Flexibilität für eine Vielzahl von Substratmaterialien, die in dem Verfahren verwendet werden. ST1200 ist mit programmierbaren Hochvakuumsensoren ausgestattet, die den Ätzprozess überwachen und optimale Einstellungen für jede Operation programmieren lassen. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Bereiche des Substrats homogen behandelt werden, was zu gleichmäßigen Ätzraten und genauen Ergebnissen führt. Die Maschine ist auch kompatibel mit einer Reihe von optionalem Zubehör wie einem Glanzmesser, das genaue Messungen des Substratglanzes ermöglicht. Eines der eindrucksvollsten Merkmale von GLOW RESEARCH ST1200 ist das luftgekühlte, gezwungene Luftkühlwerkzeug, das eine konsequente Temperaturregelung während des Ätzprozesses gewährleistet. Dies gewährleistet die Sicherheit sowohl von Peripheriemaschinen als auch von Personal in der Nähe während des Ätzvorgangs. Das Gerät ist auch mit einer leistungsstarken automatischen Steuerung ausgestattet, die mit mehreren Parametern programmiert werden kann, einschließlich der Art des zu ätzenden Materials, der Ätzzeit und der Kühlrate. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzprozesses für optimale Ergebnisse. Insgesamt ist ST1200 ein fortschrittliches Ätz- und Veraschungsgut mit Fokus auf Sicherheit und Umweltschutz. Es bietet eine breite Palette von Merkmalen, die eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglichen, um einheitliche Ergebnisse und die Sicherheit des Personals in der Nähe zu gewährleisten. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von optionalem Zubehör für zusätzliche Anpassung und Genauigkeit sehr kompatibel.
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