Gebraucht GLOW RESEARCH ST1200 #9151878 zu verkaufen

ID: 9151878
Wafergröße: 10"
RIE system, 10" DC bias for enhanced ion bombardment and anisotropy Dark space shield to focus plasma Variable electrode spacing Top or bottom electrode power Digital mass flow controllers Baratron pressure read back Throttle valve control 600 watt, 13.56 MHz Touchscreen control Multiple step recipes Monitor process during process End point solutions Turbo pump ICP Heated chuck Applications: FA Applications Spin on glass (SOG) PECVD Nitride etch Descum Photo resist strip with heater Contact slope etch Via etch BPSG Etch TEOS Etch Polyimide Poly silicon.
GLOW RESEARCH ST1200 ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine für eine Vielzahl von Materialbearbeitungsanforderungen. Es ist mit einem Schwerpunkt auf Anwendersicherheit und Umweltschutz konzipiert. Das System kann sowohl zum Trockenaschen als auch zum Nassätzen verwendet werden. Auf diese Weise können verschiedene benutzerdefinierte Prozesse mit ST1200 durchgeführt werden. GLOW RESEARCH ST1200 umfasst eine fortschrittliche mehrteilige Ätzeinheit, die einen integrierten magnetischen Rührmechanismus verwendet. Dies ermöglicht die Erstellung von komplizierteren und spezialisierten Formen und Designs auf den zu ätzenden Materialien. Es bietet auch die Flexibilität für eine Vielzahl von Substratmaterialien, die in dem Verfahren verwendet werden. ST1200 ist mit programmierbaren Hochvakuumsensoren ausgestattet, die den Ätzprozess überwachen und optimale Einstellungen für jede Operation programmieren lassen. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Bereiche des Substrats homogen behandelt werden, was zu gleichmäßigen Ätzraten und genauen Ergebnissen führt. Die Maschine ist auch kompatibel mit einer Reihe von optionalem Zubehör wie einem Glanzmesser, das genaue Messungen des Substratglanzes ermöglicht. Eines der eindrucksvollsten Merkmale von GLOW RESEARCH ST1200 ist das luftgekühlte, gezwungene Luftkühlwerkzeug, das eine konsequente Temperaturregelung während des Ätzprozesses gewährleistet. Dies gewährleistet die Sicherheit sowohl von Peripheriemaschinen als auch von Personal in der Nähe während des Ätzvorgangs. Das Gerät ist auch mit einer leistungsstarken automatischen Steuerung ausgestattet, die mit mehreren Parametern programmiert werden kann, einschließlich der Art des zu ätzenden Materials, der Ätzzeit und der Kühlrate. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzprozesses für optimale Ergebnisse. Insgesamt ist ST1200 ein fortschrittliches Ätz- und Veraschungsgut mit Fokus auf Sicherheit und Umweltschutz. Es bietet eine breite Palette von Merkmalen, die eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglichen, um einheitliche Ergebnisse und die Sicherheit des Personals in der Nähe zu gewährleisten. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von optionalem Zubehör für zusätzliche Anpassung und Genauigkeit sehr kompatibel.
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