Gebraucht HITACHI DM 421P #9286876 zu verkaufen

HITACHI DM 421P ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für die Waferbearbeitung entwickelt wurde. Es verfügt über ein kompaktes Design mit vier unabhängigen Prozesskammern und einer einfachen Benutzeroberfläche. Die Ausrüstung ist mit Schiebetüren umschlossen, um die Auswirkungen der Außenumgebung auf empfindliche Wafermaterialien zu minimieren. Das System kann bis zu vier Wafer gleichzeitig in einem Prozesszyklus bearbeiten. Es kommt mit einem einfach zu bedienenden Produktionsrezept Scripting-Engine, Wafer-Handler, und einem 3-Achsen-linearen Transfer-Mechanismus. Die horizontale Prozesskammer der Einheit hat eine gleichmäßige Temperaturverteilung, um ein gleichmäßiges Ätzen/Aschen über den Wafer zu gewährleisten. DM 421P verwendet einen hochpräzisen Temperaturregler mit präziser Temperaturregelung, der eine überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und Genauigkeit ermöglicht. Dank seiner trockenen und nassen Ätzfunktionen können Prozessingenieure ihre Rezepturen optimieren, um ihre Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Die Maschine ist auch mit einem fortschrittlichen Satz von automatisierten in-situ elektrochemischen Monitoren und Sensoren ausgestattet, um Echtzeit-Prozessüberwachung und Rückkopplung bereitzustellen. Das intelligente Transportwerkzeug bietet eine effiziente Handhabung von Wafern, während Wafer-Handhabungsbefehle eine einfache und wiederholbare Automatisierung für mehrere Prozesse ermöglichen. HITACHI DM 421P bietet auch mehrere Sicherheitsfunktionen wie Inertgasspülung, Verschlussalarme für Abgasanschlüsse und Notabgasanschlüsse. Diese Funktionen schützen die Betreiber vor der Exposition gegenüber potenziellen Verunreinigungen und sorgen für eine erhöhte Prozessreproduzierbarkeit und Zuverlässigkeit. DM 421P kommt mit einem umfassenden Satz von Software-Tools, die es Anwendern ermöglichen, Rezepte zu optimieren und bietet detaillierte Geschichte Berichterstattung der Kammer Asset-Parameter. Mit diesen Tools kann der Anwender die Wirksamkeit seiner Prozessrezepte und die Leistung des Modells bewerten. Insgesamt wurde HITACHI DM 421P entwickelt, um den Anwendern hochpräzise Wafer-Verarbeitungsfunktionen zu bieten, die eine gut kontrollierte und zuverlässige Leistung bieten. Es ist eine starke Kombination aus unabhängigen Kammern, effizienter Wafer-Handhabung und umfassender Software machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für jede Ätz- und Aschanwendung.