Gebraucht HITACHI M 308AT #102525 zu verkaufen

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Hersteller
HITACHI
Modell
M 308AT
ID: 102525
Al RIE etcher, 8", manual included, 1997 vintage.
HITACHI M 308AT ist ein Ätzer/Ascher, der für die physikalischen Ätzverfahren bei der Herstellung moderner integrierter Schaltungsbauelemente wesentlich ist. Diese Vorrichtung kann sowohl die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen erforderlichen Trockenätzprozesse als auch die verschiedenen Ätz- und Ascheprozesse durchführen, die in vielen Mikromaschinen eingesetzt werden. Das Hauptziel von HITACHI M-308AT ist es, ein robustes, programmierbares System zur Verfügung zu stellen, das genau und konsequent ätzen und aschen kann, um die strengen Spezifikationen und Toleranzen zu erfüllen, die bei der Herstellung moderner Mikroelektronik erforderlich sind. Das Gerät verfügt über eine Vielzahl von Ätzmodus-Operationen, so dass es für eine breite Palette von Materialien wie Metalle, Silizium und Siliziumdioxid verwendet werden kann. M 308 AT enthält eine Doppelkammerausführung, wobei eine Kammer die Probenkammer und eine andere für das Ätzmittel enthält. Die Probenkammer enthält die Maske, die die Probe hält, und die Ätzkammer versorgt die Probenkammer mit dem Ätzgas. Mit dem Vakuum wird eine Druckdifferenz zwischen den beiden Kammern erzeugt, die ein effektiveres Ätzen ermöglicht. Die Vorrichtung enthält auch einen internen Regler, der für die Steuerung der Ätzparameter wie Druck, Durchfluss, Temperatur, Gasdurchfluss und Ätzzeit zuständig ist. Dadurch kann das Gerät auf wiederholbares, hochgenaues Ätzen programmiert werden. Das Gerät verfügt außerdem über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, um eine sichere Betriebsumgebung zu gewährleisten. Das Gerät ist in der Lage, mit einer Mindestätzzeit von 0,1 Sekunden zu ätzen, so dass es die Ätzzeit in der Fertigung reduzieren kann, während die Genauigkeit und Wiederholbarkeit beibehalten werden. Darüber hinaus hat HITACHI M 308 AT eine 5-jährige Garantie, die seine hohe Qualität und zuverlässigen Betrieb unterstützt. Zusammenfassend ist M-308AT ein Ätzer/Ascher, der für die physikalischen Ätzverfahren bei der Herstellung moderner integrierter Schaltungsbauelemente wesentlich ist. Es hat eine Doppelkammer-Design, interne Steuerung, und eine Vielzahl von Ätzmodus Operationen, so dass es eine vielseitige Vorrichtung zum Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien. Das Gerät verfügt zudem über ein hochwertiges, sicherheitsorientiertes Design und eine 5-jährige Garantie, was es zu einer zuverlässigen Wahl für Ätz- und Ascheanwendungen macht.
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