Gebraucht HITACHI M 308AT #9410880 zu verkaufen

Hersteller
HITACHI
Modell
M 308AT
ID: 9410880
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
Etcher, 6" Missing parts 1991 vintage.
HITACHI M 308AT ist ein Ätzer oder Ascher für Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Diese professionelle Maschine verfügt über eine Größe von 30 cm, die sicher ist, die Anforderungen vieler industrieller Anwender zu erfüllen. HITACHI M-308AT hat eine Kammer von 11 „im Durchmesser, mit einer Höhe von 6,7“, so dass es perfekt für Reinraumbedienungen. Es kann bis zu 8 "-Wafer verarbeiten, die sowohl 4" als auch 8 "-Wafer unterstützen, so dass Sie im Betrieb Platz sparen können. M 308 AT auch Verarbeitungssequenzen vom Typ 8 aufweist; was für Typ A, B, C und D steht. Jede Folge bietet einen anderen Zweck und kann je nach Art des zu verarbeitenden Materials variieren. Typ A bietet ein gleichmäßiges Ätzen in einer einzigen Kammer, während Typ B für ein gleichmäßiges Ätzen in einer Doppelkammer ausgelegt ist. Typ C eignet sich am besten zum selektiven Ätzen in der Einzelkammer, während Typ D zum selektiven Ätzen in der Doppelkammer ausgelegt ist. Jeder Modus bietet einheitliche, reproduzierbare Ätzergebnisse, auf die Sie sich verlassen können. M 308AT verfügt zudem über einen automatisierten Controller, der das Leben erleichtert. Auf diese Weise können Sie die Verarbeitungssequenz programmieren, das Laden und Entladen des Wafers angeben sowie Temperaturen überwachen und Alarme einstellen. Dieses Steuergerät kann an Ihren Computer angeschlossen werden, um über Betriebsparameter informiert zu bleiben und abgeschlossene Arbeiten aufzuzeichnen. Es verfügt über eine leistungsstarke Software, die das System verwaltet, so dass Sie Rezepte speichern und abrufen können. Die Kammer der M-308AT ist außerdem mit einer Inertgaseinheit ausgestattet, die das Risiko von Partikeln, die sich während des Ätzvorgangs auf den Wafern absetzen, verringert. Es ist auch mit einer Kühlmaschine ausgestattet, die hilft, die Temperatur während des Ätzens konstant zu halten. Dies macht es ideal für trockene Ätzanwendungen, die hohe Präzisionsergebnisse erfordern. Dieser Ätzer/Ascher hat Düsen, die bis zu 20 Wafer gleichzeitig aufnehmen können. Sie können den Abstand der Wafer in den Düsen einstellen, so dass es mehrere verschiedene Arten von Wafern aufnehmen kann. Dies in Kombination mit seinem geringen Luftstrom macht es zu einer idealen All-in-One-Maschine für viele Prozesse. HITACHI M 308 AT wurde entwickelt, um mit Trockenätzprozessen wie Lithographie, Naßchemieätzen und Ionenimplantation zu arbeiten. Dank des Doppelkammerwerkzeugs kann diese Maschine auch bei Nassätzprozessen wie Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP) eingesetzt werden. Dies ist eine zuverlässige, professionelle Maschine, die sicher ist, alle Ihre Ätzanforderungen zu erfüllen. Es ist auch einfach zu bedienen, mit seinem automatisierten Controller und benutzerfreundliche Software. HITACHI M 308AT wird mit einer intuitiven und leicht verständlichen Bedienungsanleitung geliefert, die Ihnen bei jeder eventuellen Fehlerbehebung helfen kann.
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