Gebraucht HITACHI M 308ATE #9410977 zu verkaufen

Hersteller
HITACHI
Modell
M 308ATE
ID: 9410977
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
Metal etchers, 6" Chiller Power supply: 208 V, 3-Phase, 150 A 1991 vintage.
HITACHI M 308ATE ist ein Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in der Halbleiterherstellung konzipiert ist. Es ist ein vollautomatisches System, das hochwertige Geräte mit großer Genauigkeit produziert. Es verwendet eine Kombination aus hochpräzisen Schrittmotoren, leistungsstarken Lasern und einem Festoxidätzverfahren. Das Gerät ist für zuverlässiges, schnelles und wiederholbares Ätzen und Plasmaveraschen ausgelegt. Seine Hochgeschwindigkeits-, linearmotorisch angetriebene X-Y-Stufe sorgt für schnelle Positionierung und Genauigkeit an Teilen mit einem maximalen Durchmesser von 48,5 mm. Es verfügt auch über einen automatischen Arm, der sich in einer einzigen Ebene bewegen und auf die Bühne laden kann. Das System ist in der Lage, dicke Siliziumsubstrate ohne Beschädigung oder Verzerrung der Feinstruktur oder der Schaltung des Geräts zu ätzen/zu veraschen. M 308ATE verwendet ein vierstufiges Ätzverfahren unter Verwendung einer Kombination aus Nassätzen und Plasmaätzen, bei dem Substrate mit Gasgemischen auf Argonbasis beschossen werden. Der Laser ermöglicht die Erstellung eines hologrammartigen Musters im Schaltungslayout und bietet einen extrem schnellen Mechanismus zur Bildung von Geräten. Darüber hinaus verwendet das System einen vierstufigen Prozess, um den nächsten Schrittzyklus zum richtigen Zeitpunkt auszulösen. Die benutzerfreundliche Bedienung macht es ideal für ein breites Anwendungsspektrum, von der Chargenfertigung bis hin zu Forschung und Entwicklung. Es verfügt über mehrere Parametereinstellungen und benutzerprogrammierbare Funktionen für jeden Schritt, die vielseitige und genaue Operationen ermöglichen. Darüber hinaus verfügt es über ein hohes Maß an Sicherheit und Zuverlässigkeit, mit integrierten Sicherheitsfunktionen wie automatische Überwachung und Steuerung. HITACHI M 308ATE ist ein innovativer und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der hochauflösende, hohe Genauigkeit und Hochgeschwindigkeitsproduktion bietet. Es bietet eine umfassende Lösung für die Halbleiterproduktion und bietet eine zuverlässige und effiziente Plattform, die die Produktivität und Qualität von Fertigteilen erhöht.
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