Gebraucht HITACHI M 318 #9144927 zu verkaufen

HITACHI M 318 ist eine Mehrzweck-Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die den Anforderungen einer Vielzahl von Anwendungen gerecht wird. Dieses zuverlässige System erfordert minimale, aber vielseitige Betriebs- und Wartungsanforderungen, was zu geringeren Betriebskosten und verbesserter Zuverlässigkeit führt. M 318 hat eine Prozesskammergröße von 250W x 200D x 200H mm und eine maximale Quelltemperatur von 1000 ° C. Das Gerät wurde mit großflächigen Gleichmäßigkeits- und Wiederholfähigkeitsfunktionen konzipiert. Es verfügt über eine automatisierte programmierbare Wafer-Manipulationseinheit mit einem motorisierten Futter, Luftlagertischen, einer Vakuummaschine und einem elektronisch gesteuerten Substrat-Temperatursensor. Die Manipulation der Wafer wird durch die verstellbaren horizontalen Quarzschalen und einen elektronisch angetriebenen Auslegerarm mit integrierten Endeffektoren erleichtert. In das Werkzeug ist ein computergesteuerter Generator und Verdampfungsmodul integriert, das eine präzise Kontrolle der Abscheiderate, Temperatur und Materialmenge ermöglicht. Dies erleichtert die gleichmäßige Abscheidung einfacher oder mehrerer Schichten auf dem Substrat. Die Computersteuerungen sorgen zudem für eine einfache Optimierung und Anpassung der anodischen Oxidations- und Ätzparameter. HITACHI M 318 kommt mit einem benutzerdefinierten Monitor, der über einen Touchscreen bedient werden kann und eine visuelle Überwachung aller Parameter bietet. Es verfügt auch über eine erweiterte Wafer-Temperaturregelung und eine Reihe von Programmieroptionen, einschließlich einer Vielzahl von End-Effektor-Positionen, von denen die Fähigkeit, Temperaturprofile pro Wafer zu messen und zu analysieren, ein wertvolles Werkzeug für die Produktentwicklung. M 318 kommt mit fortschrittlicher Software, einschließlich eines automatisierten Rezeptgenerators, um die einfache Einrichtung von Prozessen zu erleichtern. Dies trägt dazu bei, die Geschwindigkeit und Genauigkeit der Ätz- oder Ascheprozesse zu erhöhen und gleichzeitig wiederholbare Prozessvorgänge zu ermöglichen. Für weitere Zuverlässigkeit umfasst das Asset ein integriertes Diagnosemodell und eine Internetverbindung, um eine regelmäßige Fernüberwachung und Fehlerbehebung sicherzustellen. Zur Sicherheit verfügt HITACHI M 318 über eine eingebaute Abgasanlage sowie einen umfassenden Notabschaltknopf. Es kommt auch mit einer Reihe von Sicherheitsausrüstung wie Gasventile, Vakuumsysteme und Luftfilter. Um die Robustheit des Systems zu gewährleisten, sollte eine regelmäßige Wartung durchgeführt werden, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. M 318 ist eine äußerst zuverlässige und vielseitige Ätz-/Ascheeinheit, die sich perfekt für eine Vielzahl von Anwendungen wie das Ätzen von Keramik, Dielektrikum, Polymeren und Metallen sowie das Aschen oder Kristallschneiden von Wafern eignet. Kompatibel mit allen Dünnschichtabscheidungsprozessen eignet sich HITACHI M 318 sowohl für Forschungslabore als auch für Fertigungsvorgänge.