Gebraucht HITACHI M 318SX #136433 zu verkaufen

HITACHI M 318SX ist ein Halbleiter-Ätzer/Ascher-Instrument, das entwickelt wurde, um verschiedene LE (Lithography etching) -Prozesse genau und effizient durchzuführen. M 318SX wurde für etablierte Halbleiteranwendungen entwickelt und ist ein voll ausgestatteter Schablonenätzer/Ascher, der ultradünne Mehrschichtbauelemente herstellen kann, was durch sein präzises elektromechanisches Design ermöglicht wird. HITACHI M 318SX verwendet eine Multiple Patterning Equipment (MPS), um Präzisionsstrukturen präzise und effizient zu strukturieren und gleichzeitig hochwertige Polymerfolienergebnisse zu erzielen. M 318SX verfügt über eine integrierte Prozesslösung (Integrated Process Solution, IPS), die Linien- und Raumfunktionen auf bis zu 0,25 Mikrometer schrumpfen und gleichzeitig eine vollständige Palette von Funktionen bereitstellen kann, darunter Einzel-, Doppel- und Dreifachmuster. HITACHI M 318SX führt hohe Ionenätzstrom-Plasmaätz- und Ascheprozesse durch, einschließlich Rückseitenätzen, Overcoat-Ätzen und Selective Etch Anisotropic Etching (SEAE), mit denen Kanäle und Gräben mit hohem Seitenverhältnis gebildet werden können. M 318SX verfügt über ein fortschrittliches hochauflösendes 3D-Bildgebungssystem, das mit einem hochauflösenden FIB/SEM für extrem genaues Ätzen gekoppelt ist. HITACHI M 318SX ist auch in der Lage, sowohl elektrochemische Ätz- als auch Naßätzprozesse durchzuführen, je nach Material und Merkmalen, die geätzt werden. M 318SX eignet sich hervorragend für ein- und mehrstufige Prozesse und lässt sich problemlos in automatisierte Prozessleitsysteme integrieren. Darüber hinaus ist HITACHI M 318SX auch mit einem großen Touchscreen-Display ausgestattet, so dass Benutzer die Schnittstelle für maximale Effizienz und Komfort anpassen können. M 318SX ist eine äußerst vielseitige, hocheffiziente Einheit zur Herstellung von Präzisionsätz- und Ascherstrukturen für eine Vielzahl von LE-Prozessen. Mit seinen leistungsstarken MPS- und IPS-Funktionen, gepaart mit seiner hochauflösenden Bildgebung und FIB/SEM, ist HITACHI M 318SX in der Lage, ultradünne Multi-Layer-Geräte mit unglaublich feinen Funktionsauflösungen zu produzieren. M 318SX ist eine ideale Lösung für erfahrene Halbleiteranwender, die nach einer Maschine suchen, die hervorragende Leistung und unübertroffene Prozesssteuerung bietet.