Gebraucht HITACHI M 501 #9161262 zu verkaufen

HITACHI M 501 ist ein leichter Mehrzweckätzer/Ascher, der in einer Vielzahl von Prozessen hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit bietet. M 501 bietet Ätz- und Aschefunktionen mit einer maximalen Temperatur von bis zu 950 ° C, mit einer zusätzlichen Option für bis zu 1100 ° C. Diese Kombination bietet fortschrittliche Prozesse wie solare Waferverdünnung, über Lochisolierung und fortschrittliche MEMS-Herstellung. Der Wafer wird auf eine Kassette gelegt und in die obere Kammer der HITACHI M 501 geladen, während die untere Kammer das Prozessgas und die Hochfrequenzspule aufnimmt. M 501 hat eine Breite von 12 ", eine Tiefe von 16" und eine Höhe von 14 "bei 63 lbs. und ist so konzipiert, dass es in den meisten verfügbaren Laborraum passt. HITACHI M 501 verfügt über eine Reihe von internen Sicherheitsabschaltungen, einschließlich Übertemperatur- und Überdruckschutz. Das interne Design von M 501 umfasst drei unabhängige Graphit-Heizblöcke und drei unabhängige Schutzkammern für die obere und untere Prozesskammer. HITACHI M 501 läuft entweder in einem manuellen oder automatischen Modus, der über eine eigene proprietäre Software programmierbar ist. Sobald der Prozess eingeleitet ist, können der Innendruck, die Temperatur und die Gasdurchflussrate überwacht und über das farbige LCD-Touchpanel protokolliert werden. M 501 Sensoren ermöglichen auch eine präzise Temperatur- und Druckregelung, um ein konsistentes Ätzen oder Aschen des Wafers zu gewährleisten. HITACHI M 501 nutzt auch Self-Bias-Technologien wie den Heimann-Ätzer, der extrem hohe Verarbeitungsgeschwindigkeiten von bis zu 1200 Wafern pro Stunde ermöglicht. Dies erhöht den Durchsatz und die Gleichmäßigkeit des Ätz- oder Ascheprozesses. Außerdem ist die Kammer in sich geschlossen, d.h. sie ist hermetisch abgedichtet und benötigt keinen Reinraum zum Arbeiten. Dies eröffnet die Möglichkeit von Prozessmigrationen sowie die Möglichkeit, M 501 überall dort einzusetzen, wo dies in verschiedenen Labors oder industriellen Umgebungen erforderlich ist. Insgesamt ist HITACHI M 501 ein zuverlässiger und effizienter Ätzer/Ascher, der in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann. Sein hermetisch versiegeltes Design sorgt für einen sauberen Prozess und die Reihe von Sicherheitsparametern sorgt dafür, dass es mit absoluter Sicherheit betrieben werden kann. Mit seinen benutzerfreundlichen Bedienelementen und erweiterten Funktionen ist M 501 eine ideale Wahl für Industrie- und Laboranwendungen.