Gebraucht HITACHI M 501AW #9142682 zu verkaufen

HITACHI M-501AW ist ein Ätzer/Ascher zum präzisen Ätzen und Aschen von Halbleiterscheiben. Es ist in der Lage, bei hohen Geschwindigkeiten und engen Toleranzen mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit zu ätzen. M-501AW nutzt modernste Technologie zur Sicherstellung der Waferqualität und kann sowohl mit HF- als auch mit plasmabasierten Ätztechnologien eingesetzt werden. HITACHI M-501AW verfügt über mehrere Prozesseinlässe und -auslässe, hochdichte Verarbeitungsfähigkeit, eine flexible Steuerung und eine optimale Gassteuerung. M-501AW ist in der Lage, auf einer flachen oder in einer großen offenen 3D-Prozessstation zu ätzen. Es verfügt über hochpräzise automatisierte Be- und Entladung von Wafern mit Spurverriegelungspositionen, die die Positionsgenauigkeit und Wiederholbarkeit von geätzten Mustern garantieren. Die Gasregelungstechnologie von HITACHI M-501AW ermöglicht einen minimalen Gasfluss und eine präzise dynamische Steuerung verschiedener Prozessgase. M-501AW können in jedem Ätzschritt mehrere Gase steuern, was genauere Ätzprozesse ermöglicht. HITACHI M-501AW ist als zuverlässiger und effektiver Ascher konzipiert. Seine modernste Technologie sorgt für hohen Durchsatz, geringe Verschmutzung und ausgezeichnete Gleichmäßigkeit. Es verfügt auch über ein modernes Vakuumsystem, das das Risiko von Stiction minimiert und beim Ätzen einen extrem niedrigen Partikelspiegel gewährleistet. Der Plasmaätzschritt von M-501AW hilft auch, den Staubgehalt zu reduzieren und die Wiederholbarkeit des Prozesses zu verbessern. HITACHI M-501AW ist auch ein ultra-hochpräziser Ascher. Sein automatisierter Aschevorgang sorgt dafür, dass die Ätztiefen jedes Mal genau und wiederholbar sind. Es kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, einschließlich Tiefätzen, BEOL-Verarbeitung (Back End of Line) und Mustern mit hohen Seitenverhältnissen. M-501AW ist auch darauf ausgelegt, umweltfreundlich zu sein, mit geringem Stromverbrauch und einem fortschrittlichen Gasmanagementsystem, um den Gasverbrauch zu reduzieren und die Sicherheit zu verbessern. Insgesamt ist HITACHI M-501AW eine fortschrittliche Ätz- und Aschermaschine, die für präzise und wiederholbare Prozesse in einer Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über Automatisierung, Genauigkeit und Effizienz, die es zu einer idealen Lösung für alle Arten von Halbleiterwaferätzen und -veraschen machen.