Gebraucht HITACHI M 501AWE #9130052 zu verkaufen

Hersteller
HITACHI
Modell
M 501AWE
ID: 9130052
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Metal etchers, 8" 1997 vintage.
HITACHI M 501AWE ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für Labor- und Industrieanwendungen. Dieses Gerät ist für Hochleistungsätzen ausgelegt und ermöglicht eine hohe Dichte an Merkmalen und einen erhöhten Durchsatz. M 501AWE verfügt über eine Vielzahl von benutzerfreundlichen Funktionen, die es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Aschebedürfnissen machen. HITACHI M 501AWE ist eine vielseitige Maschine mit integrierter automatischer Wafer-Transportausrüstung. Dieses System erleichtert das Manövrieren des Wafers durch einen schrittweisen Prozess für die besten Ätzergebnisse. Die Maschine hat auch eine Reihe von Flüssigkeitsstrahl-Reinigungsfähigkeiten, so dass eventuelle Pulverreste auf dem Wafer entfernt werden können. Die Maschine profitiert von einem zweistufigen Ätzprozess, der ein gleichmäßigeres Ätzen erzeugt. Der erste Schritt ist ein Naßätzen oder Ätzen in einer Lösung und der zweite Schritt erfolgt durch Trockenätzen in einem Plasma oder Reaktivgas. Der duale Prozess ermöglicht es M 501AWE, die Entstehung von Defekten, die beim Ätzen auftreten können, zu reduzieren. HITACHI M 501AWE kann zur variablen Winkelätzung (VAE) verwendet werden. VAE bietet eine präzise Steuerung des Ätzprozesses und ermöglicht es dem Anwender, Strukturen mit Winkeln nicht vertikal oder horizontal zu ätzen. Dieses Merkmal wird üblicherweise bei der Herstellung feinteiliger Mikrostrukturen verwendet. Die Maschine verfügt über eine eingebaute Kühleinheit, die hilft, den Ätzprozess auf einer konstanten Temperatur zu halten. Der breite Temperaturbereich auf M 501AWE ermöglicht es dem Anwender, die Ätztemperatur für die meisten Materialien einzustellen. Eine eingebaute Gasmaschine hilft auch, den Gasstrom für eine optimale Ätzeffizienz zu regulieren. Darüber hinaus kann HITACHI M 501AWE zur präzisen Feinlinienätzung eingesetzt werden. Dies ist ein Verfahren, mit dem ein hochpräzises Ergebnis erzielt wird, was zu einer höheren Fertigungsgenauigkeit und höheren Ausbeuten führt. Die Maschine verfügt auch über ein fortschrittliches automatisches Belichtungswerkzeug, das konsistente und wiederholbare Ätzergebnisse liefert. Insgesamt ist M 501AWE ein ausgezeichneter Ätzer und Ascher für eine breite Palette von Industrie- und Laboranwendungen. Mit seiner breiten Palette von Funktionen und Funktionen bietet es ein Setup, das benutzerfreundlich, effizient und bietet ein hohes Maß an Kontrolle und Genauigkeit.
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