Gebraucht HITACHI M 511 #9257744 zu verkaufen

HITACHI M 511 ist ein Ätzer/Ascher, der zur HITACHI Produktfamilie gehört. Es ist für das Ätzen und Aschen von dünnen Substraten ausgelegt. HITACHI M-511 ist ein Mehrkanalgerät mit vier separaten Ätz- und/oder Aschekanälen, die unabhängig oder gleichzeitig arbeiten können, um eine Hochdurchsatzverarbeitung zu ermöglichen. Es ist mit einem Vakuum ausgelegt, das bis zu 0,01 Torr produzieren kann und einen optimalen Betrieb beim Ätzen/Aschen von Dünnschichtmaterialien ermöglicht. M 511 ist mit Komponenten-Nivellierung und Spurtrimmen ausgestattet, um Gleichmäßigkeit und einen gleichmäßigen Stromfluss für jeden Wafer zu gewährleisten. Darüber hinaus weist das System eine Filmdickenüberwachungseinheit auf, die eine geringfügige Drift der Substratätzrate automatisch kompensiert. Die integrierte Sicherheitsmaschine verhindert ein Überätzen oder Überspülen der Substrate, um zu gewährleisten, dass empfindliche Materialien während der Verarbeitung nicht beschädigt werden. M-511 wird mit einem integrierten Stickstoffstromregler geliefert, der eine sichere und effiziente Verarbeitungsumgebung gewährleistet. Mit seinem robusten Design kann HITACHI M 511 bis zu 150 Wafer pro Stunde bewältigen und ist ein vielseitiges Werkzeug, um präzise Ätz- und Ascheanforderungen zu erfüllen.