Gebraucht HITACHI M 511AE #9133920 zu verkaufen
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ID: 9133920
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Plasma etching system, 8"
System configuration: 3-Poly CH
Etching CH gases: N2, SF6, CL2, CF4, Ar, O2
Gas Jungle Information :
N2 : STEC7440-20SCCM, STEC4400-200SCCM
SF6 : STEC7440, 20SCCM, 300SCCM
Cl2 : STEC7440-50SCCM, STEC4400-200SCCM
CF4 : STEC7440, 50SCCM
O2 : STEC4400, 2SLM
Ar : STEC7440, 300SCCM
HW Unit :
PC Rack
Transfer box
Main body
Chiller
1996 vintage.
HITACHI-m 511AE Asher/Etcher ist ein hochtechnologisches in einer Prozession gehendes abziehendes Mikrowerkzeug, das für den Gebrauch im industriellen und den Forschungsniveauanwendungen entworfen ist. Diese Vorrichtung ist in der Lage, die Kontrolle über den Bereich der chemischen Ätz- und Zerstäubungstechniken auszuüben, die zum Beschichten, Abscheiden und Entfernen von Materialien im Nanoskalibereich verwendet werden. Der HITACHI M 511 AE zeichnet sich durch seine robuste Bauweise und seine mehrstufige Kapazität aus und bietet Benutzern die Funktionen und Verfeinerungen, um eine Vielzahl von Musterherstellungsprozessen anzusprechen. M 511AE ist mit einem hochbelastbaren, industrietauglichen Verteiler ausgestattet, der sich ideal für die Abwicklung großer Prozessaufträge eignet, sowie mit flexiblen Leistungsoptionen, die für eine breite Palette von musterspezifischen Anforderungen maßgeschneidert sind. Das Gerät ist mit einer Reihe von speziellen Befestigungskomponenten beladen, einschließlich Drehvorschubeinrichtungen, einem Quelllader und mehrstufigen Speicherbehältern, die jeweils für eine präzise Parametersteuerung und eine robuste Leistung optimiert sind. Das Präzisionsgasverteilungsrohr bietet benutzerdefinierte Verweilzeiten und kann an die Bedürfnisse verschiedener geätzter Arten angepasst werden. M 511 AE ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu verarbeiten, einschließlich Metalle, Polymere, Legierungen, Keramiken und Keramiken mit Metallen. Die großzügige 4 "-Zuführöffnung der Kammer ermöglicht es dem Anwender, Probenmaterial bequem in raueren Korngrößen in beliebiger Orientierung einzuführen, ohne die Probenoberflächen zu beschädigen. Das integrierte Vakuumsystem des 511AE garantiert ein umweltsicheres Ätzen in einer kontrollierten Umgebung. Zusätzlich zu seinen Ätz- und Sputterfunktionen verfügt HITACHI M 511AE über die Möglichkeit, zusätzliche Verarbeitungstechniken wie Kugelfräsen und elektrische Pulsabscheidung durchzuführen. Die Flexibilität der Vorrichtung wird durch eine einstellbare Zykluszeit und eine gleichmäßige Temperaturregelung weiter erhöht, um wiederholbare Ätzergebnisse ohne Verzerrung zu gewährleisten. Mit programmierbaren Einstellungen ist HITACHI M 511 AE ideal für repetitive Prozesse und liefert Substrate höchster Qualität mit höchster Präzision und Wiederholbarkeit. M 511AE ist sicherheitszertifiziert und soll den Sicherheitsstandards der Branche entsprechen. Durchdachte Konstruktionsmerkmale, wie das ausfallsichere Absperrventil, das robuste Modulerkennungssystem und der geschlossene Schaltkasten, wurden entwickelt, um empfindliche Proben zu schützen und zu bewahren, die Prozessgenauigkeit sicherzustellen und das Potenzial für Verletzungen von Benutzern und Geräteschäden zu verringern. M 511 AE ist ein fortschrittlicher Technologie-Ätzer/Ascher, ideal für den Einsatz in Motorwerkstätten, Mikrofabrikationslabors und Forschungseinrichtungen. Die einfache Bedienung, kombiniert mit der überlegenen Leistung, sorgt dafür, dass die Ergebnisse immer zuverlässig und präzise sind.
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