Gebraucht HITACHI M 612A #9266136 zu verkaufen

HITACHI M 612A
Hersteller
HITACHI
Modell
M 612A
ID: 9266136
Polysilicon dry etcher Process: Poly etch 2 Channels.
HITACHI M 612A ist eine vielseitige Ätz- und Aschermaschine, die eine leistungsstarke, präzise und zuverlässige Lösung für eine Vielzahl von Verarbeitungsanforderungen bietet. M 612A bietet hohe Durchsatzkapazitäten mit einer maximalen Geschwindigkeit von bis zu 400.000 Teilen/Stunde. Seine effiziente Verarbeitungsfähigkeit wird durch eine Vielzahl von Prozessmodi wie Impulsätzen und Pulsascher erleichtert. Das System umfasst zwei Bearbeitungsköpfe mit jeweils einem 2-Zoll-Arbeitsbereich, die eine hochauflösende Verarbeitung ermöglichen. Die Einheit verfügt über zwei verschiedene Verarbeitungsmodi, die die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Nichtmetallen, ermöglichen. Zum Ätzen weist die Maschine ein induktiv gekoppeltes Sputterwerkzeug auf, das einen Hochfrequenztransformator zur Erzeugung eines instabilen Plasmas im Arbeitsbereich verwendet. Dieses Plasma bewirkt, dass das Zielmaterial eine geringe physikalische Verschiebung erfährt, molekulare Bindungen bricht und Partikel weggetrieben werden können. Das Pulsascher-Verfahren nutzt eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle und einen Hochspannungsimpulsgenerator zur Erzeugung eines Hochtemperaturplasmas. Dieses Plasma kann Temperaturen bis zu 3500 oC erreichen und ermöglicht ein schnelles und effizientes Aschen von Polyimid-, Polyamid- und Polycarbonatmaterialien. HITACHI M 612A kann eine Vielzahl von Substraten verarbeiten, einschließlich Siliziumscheiben, keramische Substrate und Quarz. Es ist so konzipiert, dass es sehr zuverlässig ist und durch den Einsatz eines externen Controllers und die automatische Abschaltung Ausfallzeiten reduziert. Der Controller überwacht auch die Prozessparameter und ermöglicht es dem Benutzer, Einstellungen wie Sputtergeschwindigkeit, Anzahl der Prozesse und Prozesszeit anzupassen. M 612A wurde für die Sicherheit konzipiert, wobei während der Verarbeitung keine gefährlichen Gase freigesetzt wurden und eine gefilterte Abgasanlage verwendet wurde, um Rückstandspartikel abzublasen. Das Modell verfügt auch über eine eingebaute thermische Heizung Ausrüstung, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Insgesamt ist HITACHI M 612A ein äußerst zuverlässiges und effizientes Ätz- und Aschesystem, das für eine Vielzahl von Substratmaterialien geeignet ist. Seine breite Palette von Prozessmodi und präzise Steuerungsfunktionen machen es ideal für die Schaffung von hochauflösenden Funktionen für die Entwicklung von mikroelektronischen Komponenten erforderlich.
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