Gebraucht HITACHI M 712 #9314719 zu verkaufen

HITACHI M 712 ist ein Ätzer/Ascher, ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Photolithographie-, Metallisierungs- und Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Das Tool verfügt über hochmoderne Wirtschafts- und Leistungsmerkmale, einschließlich hochpräziser automatisierter Waferausrichtung, ultrahochgeschwindigem Durchsatz und einer Vielzahl von Abscheide-/Ätzfunktionen. Das Mikroverarbeitungssystem ist mit einer maximalen Wafergröße von 8 Zoll ausgelegt, was eine hohe Produktivität und verbesserte Präzision der Funktionen ermöglicht. Der Ätzer/Ascher nutzt einen zweistufigen Mechanismus, der Free-Ionen-reaktives Ionenätzen mit chemischem Support-Ätzen für überlegene Ätzqualität ohne schädliche Wirkung von elektrischem Lichtbogen kombiniert. Die dualen Plasmen garantieren ein effektiveres Ätzen von engen Geometrien mit weniger Substratschäden und gleichmäßigerem Ätzen. Der Ätzer/Ascher verwendet auch eine patentierte geteilte Duschplatte, J-Ablage und Vakuumintegration, um ultrahohe Ätzgeschwindigkeit und Durchsatz zu erreichen. Die geteilte Duschplatte minimiert die Maskenfehlstellung und bietet eine hervorragende Dickenkontrolle. J-Filing-Technologie minimiert Ätzentwicklungszeit und ermöglicht das Ätzen von der Kante aus. Vakuumintegration dichtet die Kammer dicht ab und reduziert Verschmutzungen von außen. Das System verfügt über eine Windows-basierte grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Programmierung und Überwachung von Rezepten ermöglicht. Die integrierten Steuerungsfunktionen einschließlich Ionenerzeugungsrückkopplung und Gasflussstatus bieten eine genaue Prozesssteuerung mit hohem Durchsatz. Darüber hinaus verfügt das Tool über ein fortschrittliches Diagnoseprogramm, das die Systemleistung kontinuierlich überwacht und Datenlogging-Optionen bietet. Darüber hinaus integriert M 712 verschiedene Sicherheitsmerkmale, einschließlich eines Ionendichte-Monitors, Temperatursensoren, Manometer und Durchlaufsysteme. Der Drucksensor meldet Druckänderungen innerhalb der Kammer und kann verwendet werden, um anormale Zustände zu erkennen, während die eingebauten Sicherheitsmerkmale Warnsignale im Falle einer anormalen Situation liefern. Dies sorgt für einen sicheren und effizienten Prozess. Insgesamt ist HITACHI M 712 ein idealer Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Anwendungen in der Photolithographie, Metallisierung und Halbleiterverarbeitung. Seine überlegene Leistung und Sicherheit machen es zu einer großen Wahl für Benutzer, die Wert auf Qualität und Effizienz legen.