Gebraucht HITACHI M 712E ECR #9172571 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9172571
Wafergröße: 8"
Plasma etcher, 8"
Wafer loading module:
(3) Cassette load ports
Four-axes robot
Wafer centering unit: Notch alignment and centering
Fan filter unit
Buffer / Loadlock chamber:
Two-axes robot
Buffer turbo molecular pump
Man / Machine interface:
PC with Magnetic / Optical drive
LCD Display
Keyboard / Pointer
(2) ECR etch chambers
(2) Gas boxes
One per chamber: Ar, Cl2, SF6, HBr, CF4, CHF3, O2, spare
(2) Capacitance manometers
Penning gauge
Microwave power monitor / Auto tuner
Chamber temperature control module
Etch turbo molecular pump
Etch coil magnet: 3-Coil type
Coil cooling water flow sensors
Dual input endpoint detection system
Backside Helium cooling
(2) Power supply units - One per chamber
(2) EC Temperature controllers - One per chamber
Facility interface box
Transformer box
FFB Unit.
HITACHI M 712E ECR ist eine hochwertige elektrochemische Ätz-/Aschemaschine (ECR), die für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Das Gerät ist kompakt, einfach zu bedienen und liefert qualitativ hochwertige Ergebnisse, da es eine Vielzahl von Materialien schnell und präzise ätzen/aschen kann. Die Maschine verwendet ein einzigartiges mehrachsiges System, das eine Spindelachse, eine Vorschubachse und eine Y-Achse umfasst. Die X-, Y- und Z-Achsen werden von Servomotoren angetrieben, während die Spindel autonom arbeitet. Die Maschine ist in der Lage, auf einer Reihe von Materialien zu ätzen/zu aschen, von Kunststoffen und Metallen bis hin zu Stein, Keramik und Glas. M 712E ECR bietet zuverlässige Präzision und Geschwindigkeit. Das Gerät wird mit einem integrierten Speicher für bis zu fünf Aufträge geliefert, der eine einfache Rückrufaktion und schnelle Wiederholung ermöglicht. Dies kombiniert mit seinem ausgangstarken Gleichstrom macht die Maschine in der Lage, anspruchsvolle Ätz-/Ascheanwendungen zu handhaben. Es verfügt über ein hochohmiges Quarzmaterial, das leicht professionelle Genauigkeit erreichen kann, zusammen mit einer Staubabdeckung zur Verringerung von Staub und Schmutz um den Operationsbereich. HITACHI M 712E ECR ist unglaublich einfach zu bedienen. Es nutzt eine intuitive benutzerfreundliche Oberfläche mit einem 7-Zoll-Touchscreen-Display, so dass der Benutzer die Betriebsparameter mit Leichtigkeit anpassen kann. Die Maschine verfügt zudem über eine automatische Voreinstellfunktion, die bei minimalem Bedieneingriff optimale Ergebnisse gewährleistet. Es bietet auch Echtzeit-Feedback an den Betreiber, um sicherzustellen, dass sie die Qualität ihrer Ergebnisse schnell bestätigen können. M 712E ECR ist eine kostengünstige Maschine mit kostengünstigen Betriebskosten. Es wird mit einer dreijährigen begrenzten Garantie geliefert, die sicherstellt, dass alle Probleme schnell und effektiv behandelt werden, was dem Benutzer das Vertrauen gibt, die Maschine mit minimalen Ausfallzeiten zu bedienen. Insgesamt ist HITACHI M 712E ECR eine ideale Maschine für Ätz-/Ascheanwendungen. Sein mehrachsiges System und Hochleistungs-DC-Strom machen es in der Lage, schnell und präzise zu arbeiten, während seine intuitive Benutzeroberfläche und Echtzeit-Feedback bieten Betreiber mit einfachen Job-Rückruf und Bestätigung der Ergebnisse. Die kostengünstigen Betriebskosten und die dreijährige Garantie machen das Gerät zu einer intelligenten Investition und garantieren optimale Ergebnisse.
Es liegen noch keine Bewertungen vor