Gebraucht HITACHI M 712E #9008886 zu verkaufen

Hersteller
HITACHI
Modell
M 712E
ID: 9008886
Dry etcher power supply.
HITACHI M 712E ist ein Ätzer/Ascher zum Ätzen und Aschen von Materialien, einschließlich Wafer-Verdünnung und Rückstandsentfernung, mit hoher Präzision und hoher Geschwindigkeit. Es ist in der Lage, Hochgeschwindigkeits-Präzisionsätzen von bis zu 6,5 mm2/min, und verwendet ein modernes adaptives Plasma-Generator-System, so dass es die Ätz- und Ascherate genau zu steuern, wie erforderlich. Das Fahrgestell von HITACHI M712E besteht aus einem stahlblechverstärkten Stahlblech, Gewährleistung der Stabilität und Haltbarkeit des Geräts, während seine internen Komponenten einen Satz von schubladenartigen Pumpsystemen sowie einen 100 kV/1250V Frequenz-Impuls-Generator mit einem Aschezeitbereich von 0-60 Sekunden umfassen. Es umfasst auch ein elektromagnetisches Bad, die Eme-ARM Prozessfutter, zwei pneumatische Zylinderbaugruppe und eine Hochvakuum-Gasplatte. Weitere Merkmale und Komponenten von M 712E, die zu seiner überlegenen Leistung beitragen, sind eine unabhängige Hochleistungsantenne, mehrstufige automatische Flusssteuerung, automatischer Atmosphärenschaltungswechsel und eine unabhängige zweistufige Elektrodenantenne. Das Ethernet/RS-485 Interface zur Prozessüberwachung und -steuerung sorgt für eine einfache Systembedienung und -steuerung. Der Vollfarben-LCD-Touchscreen verwendet intuitive Symbole und Zeichen, die leicht zu verstehen und zu verwenden sind. Die in M712E verwendete Vakuum-Referenztechnologie stellt außerdem sicher, dass opera-tors die Prozessrate, Temperatur, Gasfluss, Druck und andere Parameter genau überwachen kann. Die Benutzeroberfläche von HITACHI M 712E wurde entwickelt, um die Verarbeitungseffizienz zu maximieren und ermöglicht die Konfiguration von maschinen- und materialspezifischen Einstellungen wie Batch, Panel, Wafergröße, Ätzrate usw. Es enthält auch eine Datenfunktionalität zur Echtzeitanzeige von Waferzustand, Prozessergebnis und detaillierten Betriebsdatensätzen. Die Maschine bietet sowohl Online- als auch Offline-Betrieb und ist in der Lage, mehrstufige Verarbeitung und mehrere Programmmodi sind für unterschiedliche Verarbeitungsanforderungen verfügbar. HITACHI M712E ist einfach zu bedienen und zu installieren, und entworfen, um die höchste Sicherheit zu erhalten, während es in Betrieb ist. Es ist auch konform mit einer Reihe von globalen Sicherheitsstandards und zertifiziert mit CE-Kennzeichnung sowie andere Zertifizierungen wie UL und RoHS.
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