Gebraucht HITACHI M 712XT #293750872 zu verkaufen
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ID: 293750872
Weinlese: 2006
Etcher
EPD detectors with OES and EPD computer systems
SHIMADZU Turbos
EDWARDS IQDP and PUP Dry pump
Dual zone temperature ESC
HITACHI Robots
(4) Floor chillers
(3) Load ports
(2) Etch process chambers
Chamber 1: (8) Stick gas panels
Chamber 2: (10) Sticks gas panels
Dual wafer substations on transfer module
Process kit included
2006 vintage.
HITACHI M 712XT ist ein Ätzer und Ascher zur Präzision von Ätz- und Ascherscheiben, Folien, Glas und anderen Materialien. Dieses Gerät verwendet Dual-Gallium-Nitrid-basierte elektronenvervielfachte CCD (EMCCD) -Bildgebungstechnologie, die eine verbesserte Auflösung und Kontrast bietet und eine extrem präzise Strukturierung und Waferreinigung ermöglicht. Die gleichzeitige Abbildung auf beiden Seiten eines Wafers erhöht Qualität und Prozessstabilität, während die Gleichmäßigkeit des Thermokopfes es ideal für anspruchsvolle Prozessanwendungen macht. Die Hochgeschwindigkeitsstufe und die schnelle Scangeschwindigkeit verbessern die Effizienz und reduzieren die Zykluszeit für kritische Anwendungen. Das Gerät umfasst eine CCD-Bildaufnahmeeinheit und eine Stufensteuerung, die eine genaue Ausrichtung und Positionierung der Probe gewährleistet. Es ist auch mit einem Präzisions-Galvo-Positioniersystem für den schnellsten und präzisesten Veraschungsvorgang ausgestattet, sowohl für Einzel- als auch für Mehrproben-Anwendungen. Die Bühne kann für 150-500mm Weg programmiert werden, um Wafer in verschiedenen Größen unterzubringen. M 712XT bietet eine umfassende Kontrolle über die Bearbeitungsparameter und Prozesseinstellungen. Dies ermöglicht schnelle Anpassungen von Parametern wie Verbindungstiefe, Glühtemperatur und Ätzrate. Es bietet externen Trigger, analoges Signal und Steuerung über analoge Signaleingänge. Die integrierte leistungsstarke Steuerungssoftware ermöglicht einfache Bedienfelder, um diese Multimodul-Funktionen zu ermöglichen. Die ausgezeichnete Leistung und Benutzerfreundlichkeit des Geräts macht es ideal für anspruchsvolle Photolithographie-Prozesse, einschließlich feiner Linienauflösung und tiefer Profilglühung. Seine Vielseitigkeit wird durch seine Kompatibilität mit verschiedenen Präzisionsätzen und Aschermaterialien, einschließlich Silizium, Siliziumdioxid, Quarz und Silikatglas, weiter erhöht. {Verschiedene Modulkonfiguration kann verwendet werden, um hochpräzise, hochgenaue oder hochdicke Muster bereitzustellen.} Dieses Gerät bietet einige hervorragende Funktionen, die es zu einem der leistungsfähigsten Ätzer machen. Seine ionische Ätzratensteuerung ermöglicht schnelles Ätzen und Aschen und bietet hohe Materialabtragsraten. Das chemikalienbeständige Edelstahlgehäuse und die abgedichtete Optik schützen die Proben vor Verschmutzungen, während der biegemittelte Waferhalter den Wafer präzise nivelliert. HITACHI M 712XT ist ein sehr vielseitiges und zuverlässiges Ätz- und Aschesystem, das die präzise Verarbeitung anspruchsvoller Materialien ermöglicht. Seine leistungsstarke und präzise Steuerungssoftware bietet eine intuitive Bedienung, während die Kompatibilität mit verschiedenen Materialien und die schnelle Ätzratenkontrolle für überlegene Ergebnisse sorgen.
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