Gebraucht HITACHI M 8170 XT #293774673 zu verkaufen

HITACHI M 8170 XT ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine, die für die hochpräzise Verarbeitung von Halbleiterscheiben mit hohem Durchsatz in modernen Fertigungsumgebungen entwickelt wurde. Dieses ausgeklügelte Tool kombiniert innovative Technologien und fortschrittliche Funktionen, um überlegene Leistung und Zuverlässigkeit in Halbleiterherstellungsprozessen zu bieten. Herzstück des HITACHI M 8170XT Systems ist seine Dual-Mode-Funktionalität, die es ermöglicht, sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse mit außergewöhnlicher Präzision und Kontrolle durchzuführen. Das Gerät ist mit mehreren Gaseinspritzkanälen, fortschrittlicher Plasmaerzeugungstechnologie und einem hochkonfigurierbaren Kammerdesign ausgestattet, um eine breite Palette von Prozessfähigkeiten für verschiedene Anwendungen bereitzustellen. Eines der Hauptmerkmale von M8170 XT ist seine fortschrittliche Gasfördermaschine, die eine präzise Steuerung der Durchflussraten und Verhältnisse von Prozessgasen gewährleistet, um die gewünschten Ätz- oder Ascheergebnisse zu erzielen. Das Werkzeug ist in der Lage, eine Vielzahl von Gasen zu handhaben, einschließlich Gasen auf Fluorbasis, Chlor-Basis und Sauerstoff-Basis, so dass Flexibilität in der Prozessentwicklung und Optimierung. HITACHI M8170 XT ist zudem mit einem hochkonfigurierbaren Kammerdesign ausgestattet, das kundenspezifische Prozessbedingungen und Kammergeometrien an spezifische Prozessanforderungen anpasst. Die Kammer verfügt über einen Dualbetrieb mit separaten Abschnitten für Ätz- und Ascheprozesse, die eine unabhängige Prozessoptimierung und -steuerung ermöglichen. In Bezug auf die Plasmaerzeugung nutzt M 8170 XT fortschrittliche Hochfrequenz (RF) -Plasmatechnologie, um hochdichtes, gleichmäßiges Plasma über die Waferoberfläche zu erzeugen. Dies führt zu einer effizienten und gleichmäßigen Materialabtragung während des Ätzprozesses sowie zu einer effektiven Entfernung von Photoresist und anderen organischen Rückständen während des Aschvorgangs. Das Asset wird durch seine erweiterten Endpunkterkennungsfunktionen weiter verbessert, die eine Echtzeit-Überwachung und Kontrolle des Ätz-/Ascheprozesses basierend auf vordefinierten Parametern ermöglichen. Dies gewährleistet präzise und wiederholbare Ergebnisse auch bei komplexen und anspruchsvollen Prozessrezepten. M 8170XT ist mit benutzerfreundlicher Oberfläche und Software-Steuerung entworfen, um einfache Bedienung und Wartung zu erleichtern. Das Modell verfügt über umfassende Diagnose- und Überwachungstools für die Ausrüstungsgesundheitsprüfung sowie Datenerfassungs- und Berichtsfunktionen für die Prozessanalyse und -optimierung. Insgesamt stellt HITACHI M 8170 XT ein hochmodernes Ätz-/Aschersystem dar, das außergewöhnliche Leistung, Zuverlässigkeit und Flexibilität für Halbleiterverarbeitungsanwendungen bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und innovativen Technologien ist dieses Gerät gut für eine breite Palette fortschrittlicher Fertigungsumgebungen geeignet, in denen hohe Präzision und hoher Durchsatz wesentliche Anforderungen sind.