Gebraucht HITACHI U-722 #150986 zu verkaufen

HITACHI U-722 ist eine Ätz-/Aschemaschine für die Herstellung von Halbleiterscheiben. Es handelt sich um ein Trockenätzsystem bestehend aus einer Plasmaquelle und einem Faraday-Käfig. Die Plasmaquelle besteht aus induktiv gekoppelten Plasma- und HF-Entladungsmodulen und der Faraday-Käfig ist ein dielektrisch ausgekleidetes Gehäuse, das zum Schutz der Wafer vor direkter Exposition gegenüber dem Plasma dient. U-722 verfügt über eine ICP-Quelle, die einen Leistungspegel von bis zu 1.200 W erzeugen kann, und ist mit zwei 400w und zwei 800w induktiv gekoppelten Plasmaquellen (ICP) ausgestattet. Das Plasma wird durch ein Gasgemisch aus Argon, Wasserstoff und Sauerstoff erzeugt. Das Plasma wird von der ICP-Plasmaquelle erzeugt und ist im Faraday-Käfig enthalten. Die Wafer werden dann dem Plasma ausgesetzt, das einen chemischen Ätzprozess erzeugt. Dieser Ätzprozess entfernt Material von der Waferoberfläche, was zu Mustern führt, mit denen komplexe Schaltungsstrukturen und Komponenten erzeugt werden können. HITACHI U-722 ist eine kompakte und einfach zu bedienende Einheit. Das Gerät verfügt über eine intuitive Software, die eine präzise Steuerung der Ätzparameter und der HF-Stromversorgung ermöglicht, die auf optimale Ätzergebnisse eingestellt werden kann. Es enthält auch einen integrierten Computer zur Datenspeicherung und -manipulation. U-722 eignet sich für eine Vielzahl von Materialien, darunter Silizium, Siliziumoxid, Wolfram, Titan und Titannitrid. Es eignet sich auch für Wafergrößen von 4 „bis 8“ und kann Ätzraten bis 10 nm/min erreichen. Die Maschine verfügt auch über eine breite Palette von Ätzparametern, so dass Benutzer „selbstmusternde“ Ätzprozesse zu erreichen. HITACHI U-722 verfügt über eine hervorragende Ätzfähigkeit und gilt als eines der besten Ätzsysteme auf dem Markt. Es wird in einer Vielzahl von Bereichen eingesetzt, einschließlich der Herstellung von integrierten Schaltungen, optoelektronischen Geräten und Komponenten für die Telekommunikation. U-722 ist zuverlässig, robust und höchst wirtschaftlich und somit eine ideale Lösung für viele Halbleiterhersteller auf der ganzen Welt.