Gebraucht HITACHI U-722 #9211147 zu verkaufen

HITACHI U-722 ist ein Zweizonen-, Trockenfilmätzer und Ascher. Es ist für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen konzipiert, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Es verwendet maximal zwei Prozesskammern, um Komponenten aus einem einzigen Wafer zu ätzen oder zu aschen. Die Maschine ist in der Lage, Ergebnisse mit hoher Gleichmäßigkeit für eine Vielzahl von Ätz- oder Ascheoperationen wie chemische Dampfabscheidung, plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung, Photoresist-Strippen, Aschen und Trockenätzen zu erzielen. U-722 vereint die Fähigkeit eines Ätzsystems und einer Asche. Im Ätzbetrieb verwendet die Maschine eine beheizte oxidbeschichtete Referenzplatte für genaues, kundenspezifisches Ätzen. Sowohl die Referenzplatte als auch der Ätzwafer erhalten eine HF-Nachabscheidung, während die Referenzplatte eine Oberfläche bereitstellt, um den Wafer beim Ätzen mit der Platte in Kontakt zu halten. Dies ermöglicht ein schnelles, effizientes und gleichmäßiges Ätzen des Substrats. Der Ascher verwendet auch eine beheizte oxidbeschichtete Referenzplatte, um ein gleichmäßiges Aschen des Substrats zu erreichen. Die Automatisierung von HITACHI U-722 erleichtert auch die Bedienung. Es verfügt über einen eingebauten automatischen Ablaufregler mit Temperatur- und Druckregelung jeder Prozesskammer. Das System ist auch einfach mit einer grafischen Benutzeroberfläche zu überwachen, so dass Bediener den Prozess in Echtzeit überwachen können. Die Präzision der Maschine ist ein weiteres Schlüsselmerkmal der U-722. Sowohl seine Ätzung als auch sein Aschevorgang zeichnen sich durch eine präzise Restgasregelung aus, die eine hohe Gleichmäßigkeit und gute Ausbeuten ermöglicht. Seine Ionenquelle ist auch so konstruiert, dass sie durch ihre abgewinkelte Düsenkonstruktion eine gleichmäßige Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche verleiht. Die Konstruktion bietet dem Bediener auch eine klare Sicht auf den Ätz- oder Ascheprozess und stellt sicher, dass alle Operationen nach der genauen Spezifikation ausgeführt werden. Schließlich ist HITACHI U-722 für einen zuverlässigen und wartungsarmen Betrieb ausgelegt. Die Maschine ist mit einfach zu bedienenden, lebenslangen Komponenten und einer hermetisch abgedichteten Kammerkonstruktion ausgestattet, die einen Überdruck während des gesamten Prozesszyklus ermöglicht. Dies bietet minimale Ausfallzeiten durch minimalen Teileaustausch. Dies macht U-722 zu einer idealen Wahl für zuverlässige, wiederholbare und kostengünstige Ätz- und Aschevorgänge.